Продукти

Вакуумните патронници Semicorex Silicon Carbide SiC са прецизни керамични компоненти за държане на пластини, проектирани за високоточна обработка на полупроводници, предлагащи изключителна термична стабилност, превъзходна плоскост и ултра-чиста вакуумна адсорбция. Semicorex съчетава усъвършенствана технология за материали SiC, възможност за прецизна обработка и строг контрол на качеството на полупроводници, за да предостави високонадеждни решения за вакуумни патронници за клиенти по целия свят.*

Произведени от висококачествена пореста керамика от силициев карбид, вакуумните патронници Semicorex за порест SiC са високопрецизни инструменти за затягане на пластини, специално проектирани за чиста работа без повреди на тънки и крехки пластини. Избирайки Semicorex, вие ще се насладите на оптималните решения за затягане и позициониране на пластини за авангардни процеси на производство на полупроводници.

Тигелите от разтопен кварц с висока чистота Semicorex, изработени от кварцови материали с висока чистота на полупроводници, са критичните контейнери в авангардното производство на полупроводници. Тигелите от стопен кварц Semicorex с висока чистота са идеалните кварцови решения, проектирани специално за процеса на растеж на монокристален силиций във високотемпературните монокристални пещи.

Порестата керамика от танталов карбид Semicorex е високоефективна пореста керамика, проектирана специално в процеса на физически пренос на пари (PVT). Неговата специална пореста структура и отлични свойства играят важна роля за улесняване на растежа на кристали от висококачествен силициев карбид. Избирайки Semicorex, вие ще получите идеални порести керамични решения с постоянно качество и стабилна производителност за усъвършенствано производство на полупроводници.

Керамичните фокусни пръстени Semicorex за полупроводници са високопроизводителни пръстени, изработени от CVD SiC материали, които са специално проектирани за среди с висок интензитет на плазмено ецване. Semicorex е водещ в индустрията производител на CVD SiC керамични фокусни пръстени за полупроводници, очакваме с нетърпение вашето запитване.

Външните пръстени Semicorex poly-Si за ецване са прецизно обработени пръстени, изработени от полисилициеви материали. Специално проектирани за електродните системи на усъвършенствано оборудване за ецване, външните пръстени Semicorex poly-Si за ецване могат ефективно да осигурят стабилността на процеса на ецване. Изборът на Semicorex означава, че ще получите висококачествените поли-Si външни пръстени за ецване, които могат да подобрят добива на пластини и оперативната ефективност.