Порестата керамика от танталов карбид Semicorex е високоефективна пореста керамика, проектирана специално в процеса на физически пренос на пари (PVT). Неговата специална пореста структура и отлични свойства играят важна роля за улесняване на растежа на кристали от висококачествен силициев карбид. Избирайки Semicorex, вие ще получите идеални порести керамични решения с постоянно качество и стабилна производителност за усъвършенствано производство на полупроводници.
Порестата керамика от танталов карбид Semicorex е ултрависокотемпературен керамичен материал с точка на топене около 3880 ℃, който може да поддържа стабилна производителност в предизвикателните работни среди с висока температура и висока корозия, благодарение на следните отлични работни характеристики.
Максималната работна температура на Semicorex поресттанталов карбид керамикаможе да бъде до 3200 ℃ и може да работи стабилно при високотемпературни условия на растеж на кристали от силициев карбид за дълго време без никаква деформация или омекване.
Порестата керамика от танталов карбид Semicorex показва по-добра устойчивост на корозия и устойчивост на окисление от конвенционалната керамика. Той може ефективно да издържи на корозията на високотемпературния кислород и Si пара в процеса на растеж на кристалите.
Порестата керамика от танталов карбид Semicorex се отличава с равномерно разпределени вътрешни пори, с порьозност между 10-60% (с възможност за персонализиране) и скорост на преминаване на порите от над 98%. Тази специална структура позволява на елементи от парна фаза като Si и C да текат и дифундират плавно в пещта за растеж на кристали, което значително улеснява растежа на висококачествени кристали.
По време на растежа на кристалите на силициевия карбид чрез PVT процеса, порестата керамика от танталов карбид Semicorex функционира основно във филтриране на елемент от парна фаза, регулиране на температурния градиент на пещта и насочване на потока на газовия материал. За разлика от конвенционалните порести графитни материали с покритие от TaC, порестата керамика от танталов карбид Semicorex показва различни предимства: елиминира пореститеГрафит с TaC покритиеНедостатъкът на материалите е ниската скорост на преминаване на порите, причинена от обработката на покритието, като същевременно се избягва болезнената точка на порестите графитни материали с покритие от TaC при отлепване на покритието, срещано при експлоатация. Чрез използването на пореста керамика от танталов карбид Semicorex можете ефективно да инхибирате дефектите на въглеродните включвания в растежа на кристалите на силициевия карбид, като по този начин значително подобрявате качеството на растеж на кристалите и добива на продукта.