Тигел от порест графит

Порестият графитен тигел играе критична роля в процеса на растеж на единичен кристал от силициев карбид (SiC), решаваща стъпка в производството на полупроводници. Този специализиран тигел е проектиран да издържа на екстремни температури и сурови химически среди, което го прави идеален контейнер за високотемпературните реакции, участващи в растежа на SiC кристалите.

Тигелът обикновено е направен от графитен материал с висока чистота, известен със своята отлична топлопроводимост, химическа инертност и механична якост. Терминът "порест" се отнася до умишленото създаване на пропусклива структура в графита, което позволява контролиран поток от газове и течности по време на процеса на растеж на кристалите.

Процесът на растеж на единични кристали на SiC включва сублимация на изходни материали от силиций и въглерод във високотемпературна пещ. Порестият графитен тигел действа като контейнер за тези изходни материали, осигурявайки стабилна и контролирана среда за растежа на кристалите. Неговата пореста структура позволява ефективен транспорт на прекурсорни газове и улеснява отстраняването на страничните продукти, генерирани по време на процеса на растеж.

Способността на тигела да поддържа стабилност и да издържа на екстремни условия е от съществено значение за постигането на висококачествени монокристали SiC, които са неразделна част от производството на полупроводникови устройства. Порьозността на тигела помага за оптимизиране на газовия поток и разпределението на топлината, допринасяйки за равномерното нарастване на големи и висококачествени SiC кристали.