Индуктивно нагрята барелна Epi система за LPE епитаксия

Semicorex Inductively Heated Barrel Epi System за LPE епитаксия е идеалният избор за приложения за производство на полупроводници, които изискват изключително разпределение на топлината и топлопроводимост. Неговото SiC покритие с висока чистота и превъзходна плътност осигуряват превъзходни свойства за защита и разпределение на топлината, осигурявайки надеждна и постоянна работа дори в най-предизвикателните среди.

В Semicorex ние се фокусираме върху предоставянето на висококачествени, рентабилни продукти на нашите клиенти. Нашата Epi система с индуктивно нагряване за LPE епитаксия има ценово предимство и се изнася на много европейски и американски пазари. Ние се стремим да бъдем ваш дългосрочен партньор, предоставяйки продукти с постоянно качество и изключително обслужване на клиентите.

Параметри на индуктивно нагрята барелна Epi система за LPE епитаксия

Характеристики на Epi система с индуктивно нагряване за LPE епитаксия

- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат добра плътност и могат да играят добра защитна роля при висока температура и корозивна работна среда.

- Сприцепторът с покритие от силициев карбид, използван за растеж на единични кристали, има много висока плоскост на повърхността.

- Намаляване на разликата в коефициента на топлинно разширение между графитния субстрат и слоя от силициев карбид, ефективно подобряване на якостта на свързване, за да се предотврати напукване и разслояване.

- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.

- Висока точка на топене, устойчивост на окисление при висока температура, устойчивост на корозия.