Графитен ток със SiC покритие

Semicorex Graphite Susceptor с SiC покритие е основен компонент, предназначен за процеси на силициева епитаксия в единици за приложни материали и LPE (епитаксия в течна фаза). Изработен от висококачествен графитен материал, покрит със силициев карбид (SiC), този приемник осигурява превъзходна производителност и дълголетие в среди за производство на полупроводници. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

SiC покритието на графитния ток със SiC покритие служи за множество цели. Първо, той осигурява подобрена термична стабилност, позволяваща прецизен контрол върху температурните градиенти по време на процесите на епитаксиален растеж. Тази стабилност е от решаващо значение за постигане на равномерни и висококачествени силициеви слоеве в полупроводникови пластини. SiC покритието върху графитен токосцептор със SiC покритие предлага отлична устойчивост на химическа корозия и термичен шок, запазвайки целостта на токосцептора дори при взискателни условия на процеса. Тази издръжливост се изразява в удължен експлоатационен живот и намалено време на престой, което в крайна сметка допринася за по-висока производителност и рентабилност за съоръженията за производство на полупроводници.

Конструкцията на цилиндъра на графитния фиксатор със SiC покритие улеснява ефективното зареждане и разтоварване на пластини, оптимизирайки производителността в процесите на епитаксия. В допълнение, графитният ток със SiC покритие е персонализиран продукт и може да бъде пригоден, за да отговори на специфичните изисквания и предпочитания на производителите на полупроводници, осигурявайки съвместимост с различни конфигурации на оборудване и параметри на процеса.