Със своята отлична плътност и топлопроводимост, Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Susceptor за LPE е идеалният избор за използване в LPE процеси и други приложения за производство на полупроводници. Неговото SiC покритие с висока чистота осигурява превъзходна защита и свойства за разпределение на топлината, което го прави предпочитан избор за надеждни и постоянни резултати.
Ако се нуждаете от висококачествен графитен фиксатор с превъзходна устойчивост на топлина и корозия, не търсете повече от Semicorex Durable SiC-Coated Barrel Suceptor за LPE. Неговото покритие от силициев карбид осигурява изключителна топлопроводимост и разпределение на топлината, осигурявайки надеждна и постоянна работа дори в най-взискателните високотемпературни среди.
Нашият издръжлив барел с покритие от SiC за LPE е проектиран да постигне най-добрия модел на ламинарен газов поток, осигуряващ равномерност на топлинния профил. Това помага да се предотврати каквото и да е замърсяване или дифузия на примеси, като се гарантира висококачествен епитаксиален растеж върху пластинковия чип.
Свържете се с нас днес, за да научите повече за нашия издръжлив барел с покритие от SiC за LPE.
Параметри на издръжлив барел с покритие от SiC за LPE
Основни спецификации на CVD-SIC покритие |
||
SiC-CVD свойства |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Химическа чистота |
% |
99.99995 |
Топлинен капацитет |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt огъване, 1300 â) |
430 |
Термично разширение (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Характеристики на издръжлив барел с покритие от SiC за LPE
- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат добра плътност и могат да играят добра защитна роля при висока температура и корозивна работна среда.
- Сприцепторът с покритие от силициев карбид, използван за растеж на единични кристали, има много висока плоскост на повърхността.
- Намаляване на разликата в коефициента на топлинно разширение между графитния субстрат и слоя от силициев карбид, ефективно подобряване на якостта на свързване, за да се предотврати напукване и разслояване.
- Както графитният субстрат, така и слоят от силициев карбид имат висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината.
- Висока точка на топене, устойчивост на окисление при висока температура, устойчивост на корозия.