Токоприемник с решетка

Semicorex Susceptor with Grid е специализиран компонент, използван в процеса на епитаксиален растеж на полупроводникови пластини. Тази критична част от оборудването е проектирана да носи и поддържа пластините по време на отлагането на материали в система за металоорганично химическо отлагане на пари (MOCVD). Суцепторът с решетка играе ключова роля в осигуряването на равномерно и контролирано нарастване на епитаксиалните слоеве върху полупроводниковата пластина.

Susceptor with Grid е конструиран с материали, оптимизирани за неговата функция. В този случай той е направен от графит с покритие от MOCVD SiC (металоорганично химическо парно отлагане на силициев карбид). Този избор на материали предоставя няколко предимства, включително устойчивост на висока температура, химическа стабилност и отлична топлопроводимост. SiC покритието върху графита подобрява издръжливостта и устойчивостта на фиксатора на тежките условия, срещани по време на процеса на епитаксиален растеж.

Суцепторът с решетъчна структура служи като поддържащ механизъм за полупроводниковите пластини. Той е стратегически проектиран да държи вафлите сигурно на място, като същевременно позволява ефективен поток от газове и равномерно отлагане на материали. Решетката спомага за равномерното разпределение на топлината и реагентите по повърхността на вафлата, допринасяйки за прецизния контрол на дебелината и състава на епитаксиалния слой.

Semicorex Susceptor with Grid е критичен компонент в производствения процес на усъвършенствани полупроводникови устройства. Неговата здрава конструкция и специализиран дизайн го правят основен инструмент за постигане на висококачествен епитаксиален растеж, осигурявайки производството на полупроводници с превъзходна производителност и надеждност.