SiC покритието е тънък слой върху фиксатора чрез процеса на химическо отлагане на пари (CVD). Материалът от силициев карбид осигурява редица предимства пред силиция, включително 10 пъти по-голяма сила на пробивното електрическо поле, 3 пъти по-голяма ширина на лентата, което осигурява на материала висока температурна и химическа устойчивост, отлична устойчивост на износване, както и топлопроводимост.
Semicorex предоставя персонализирано обслужване, помага ви да правите иновации с компоненти, които издържат по-дълго, намалява времената на цикъла и подобрява добивите.
SiC покритието притежава няколко уникални предимства
Устойчивост на висока температура: CVD SiC покритият ток може да издържи на високи температури до 1600°C, без да претърпи значително термично разграждане.
Химическа устойчивост: Покритието от силициев карбид осигурява отлична устойчивост на широка гама от химикали, включително киселини, основи и органични разтворители.
Устойчивост на износване: SiC покритието осигурява на материала отлична устойчивост на износване, което го прави подходящ за приложения, които включват силно износване.
Термична проводимост: CVD SiC покритието осигурява на материала висока топлопроводимост, което го прави подходящ за използване при високотемпературни приложения, които изискват ефективен топлопренос.
Висока якост и твърдост: Сцепторът с покритие от силициев карбид осигурява на материала висока якост и твърдост, което го прави подходящ за приложения, които изискват висока механична якост.
SiC покритието се използва в различни приложения
Производство на светодиоди: CVD SiC покритият ток се използва при производството на обработени различни типове светодиоди, включително сини и зелени светодиоди, UV светодиоди и дълбоки UV светодиоди, поради високата си топлопроводимост и химическа устойчивост.
Мобилна комуникация: CVD SiC покритият приемник е решаваща част от HEMT за завършване на епитаксиалния процес GaN-on-SiC.
Обработка на полупроводници: CVD SiC покритият приемник се използва в полупроводниковата индустрия за различни приложения, включително обработка на пластини и епитаксиален растеж.
Графитни компоненти с SiC покритие
Изработено от графит със силициево-карбидно покритие (SiC), покритието се нанася чрез CVD метод върху специфични степени на графит с висока плътност, така че може да работи във високотемпературна пещ с над 3000 °C в инертна атмосфера, 2200 °C във вакуум .
Специалните свойства и ниската маса на материала позволяват бързи скорости на нагряване, равномерно разпределение на температурата и изключителна прецизност на управление.
Данни за материала на Semicorex SiC покритие
Типични свойства |
единици |
Ценности |
Структура |
|
FCC β фаза |
Ориентация |
фракция (%) |
111 за предпочитане |
Обемна плътност |
g/cm³ |
3.21 |
твърдост |
Твърдост по Викерс |
2500 |
Топлинен капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Термично разширение 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Модулът на Йънг |
Gpa (4pt завой, 1300 ℃) |
430 |
Размер на зърното |
μm |
2~10 |
Температура на сублимация |
℃ |
2700 |
Felexural Сила |
MPa (RT 4 точки) |
415 |
Топлопроводимост |
(W/mK) |
300 |
Заключение Токоприемникът с CVD SiC покритие е композитен материал, който съчетава свойствата на токоприемник и силициев карбид. Този материал притежава уникални свойства, включително устойчивост на висока температура и химикали, отлична устойчивост на износване, висока топлопроводимост и висока якост и твърдост. Тези свойства го правят привлекателен материал за различни високотемпературни приложения, включително обработка на полупроводници, химическа обработка, термична обработка, производство на слънчеви клетки и производство на светодиоди.
RTP Graphite Carrier Plate на Semicorex е идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини, включително епитаксиално израстване и обработка на обработка на пластини. Нашият продукт е проектиран да предлага превъзходна устойчивост на топлина и топлинна еднородност, като гарантира, че епитаксиалните фиксатори са подложени на околната среда на отлагане с висока устойчивост на топлина и корозия.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex RTP SiC Coating Carrier предлага превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини. Със своя висококачествен графит с покритие от SiC, този продукт е проектиран да издържа на най-тежките условия на отлагане за епитаксиален растеж. Високата топлопроводимост и отличните свойства на разпределение на топлината осигуряват надеждна работа при RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier е проектиран да издържа на най-трудните условия на средата на отлагане. Със своята висока устойчивост на топлина и корозия, този продукт е проектиран да осигури оптимална производителност за епитаксиален растеж. Носачът с покритие от SiC има висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината, осигуряващи надеждна работа за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SiC Graphite RTP носеща плоча за MOCVD предлага превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност, което я прави идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини. С висококачествен графит с покритие от SiC, този продукт е проектиран да издържа на най-тежките условия на отлагане за епитаксиален растеж. Високата топлопроводимост и отличните свойства за разпределение на топлината осигуряват надеждна работа при RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex SiC покрита RTP носеща плоча за епитаксиален растеж е идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини. Със своите висококачествени въглеродно-графитни фиксатори и кварцови тигели, обработени от MOCVD върху повърхността на графит, керамика и др., този продукт е идеален за обработка на пластини и обработка на епитаксиален растеж. Носачът с SiC покритие осигурява висока топлопроводимост и отлични свойства за разпределение на топлината, което го прави надежден избор за RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Прочетете ощеИзпратете запитванеSemicorex е мащабен производител и доставчик на графитен ток с покритие от силициев карбид в Китай. Графитен приемник Semicorex, проектиран специално за епитаксиално оборудване с висока устойчивост на топлина и корозия в Китай. Нашият RTP RTA SiC Coated Carrier има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор.
Прочетете ощеИзпратете запитване