Китай Керамика Производители, доставчици, фабрика

Semicorex е вашият партньор за подобряване на обработката на полупроводници. Нашите покрития от силициев карбид са плътни, устойчиви на висока температура и химикали, които често се използват в целия цикъл на производство на полупроводници, включително полупроводникови пластини и обработка на пластини и производство на полупроводници.

SiC керамичните компоненти с висока чистота са от решаващо значение за процесите в полупроводника. Нашето предложение варира от консумативи за оборудване за обработка на вафли, като лодка от силициев карбид, конзолни лопатки, тръби и т.н. за епитаксия или MOCVD.

Предимства за полупроводникови процеси

Фазите на отлагане на тънък слой, като епитаксия или MOCVD, или обработка на обработка на пластини, като ецване или йонен имплант, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване. Semicorex доставя конструкция от силициев карбид (SiC) с висока чистота, осигуряваща превъзходна устойчивост на топлина и трайна химическа устойчивост, дори топлинна еднородност за постоянна дебелина и устойчивост на епи слоя.

Капаци на камерата →
Капаците на камерите, използвани при отглеждане на кристали и обработване на вафли, трябва да издържат на високи температури и грубо химическо почистване.

Конзолно гребло →
Конзолната лопатка е ключов компонент, използван в процесите на производство на полупроводници, особено в дифузионни или LPCVD пещи по време на процеси като дифузия и RTP.

Процесна тръба →
Process Tube е ключов компонент, специално проектиран в различни приложения за обработка на полупроводници като RTP, дифузия.

Вафлени лодки →
Wafer Boat се използва при обработката на полупроводници, той е щателно проектиран, за да гарантира, че деликатните вафли се съхраняват безопасно по време на критичните етапи на производството.

Входящи пръстени →
Газов входен пръстен с покритие от SiC от MOCVD оборудване Растежът на съединението има висока устойчивост на топлина и корозия, което има голяма стабилност в екстремни условия.

Пръстен за фокусиране →
Semicorex доставя фокусиращ пръстен със силициево-карбидно покритие, който е наистина стабилен за RTA, RTP или грубо химическо почистване.

Вафлен патрон →
Ултра-плоските керамични вакуумни патронници за вафли Semicorex са с високочисто SiC покритие, което се използва в процеса на обработка на вафли.

Semicorex също има керамични продукти от алуминий (Al2O3), силициев нитрид (Si3N4), алуминиев нитрид (AIN), цирконий (ZrO2), композитна керамика и др.