Порестият алуминиев алуминиев патрон Semicorex са микропореста черна алуминиев вакуум за вакуум с 35–40% порьозност, предназначена да осигури равномерно засмукване и безопасна борово управление при производството на полупроводници. Изборът на Semicorex означава надеждно керамично инженерство, превъзходно качество на материала и постоянна работа, която предпазва добива и стабилността на процеса.*
Порестите алуминиеви патрони Semicorex са изградени за най-деликатните вафли. Порестият им дизайн осигурява осигуряването на постоянно разпределение на вакуума по повърхността на Чък, което осигурява намалено локализирано напрежение и помага за предотвратяване на ръб и счупване. Механичното затягане (твърдо или по друг начин) не е толкова ефективно, колкото микропорестата мрежа, която държи дори деликатни вафли, без прекалено ограничаващия механичен стрес, като същевременно фиксира безопасно вафлата, тъй като микропорестата структура предотвратява износването и осигурява нежно задържане. Необходимостта от равномерна адсорбция през цялата повърхност на Чък е особено критична за вафли, които са по -големи и по -тънки, които могат да понасят много по -малко стрес по време на автоматизирано управление и при изпълнение на високи прецизни стъпки за обработка.
Оптимизиран за 35-40% порьозност, Чък развива мрежа от взаимосвързани пори, които служат за евакуиране на въздуха, като същевременно осигуряват достатъчно механична сила, за да се задържа вафлата на място срещу процесорните сили. Това означава, че силата на задържане на вакуум остава стабилна, докато движи вафлите, дори в бърза последователност, като същевременно извършва сложна последователност на процеса. Адсорбцията в рамките на микропореста мрежа осигурява повече стабилност, отколкото просто създаване на разлики във налягането във вакуумната система.
Черният алуминий (Al₂o₃) самият е най-добрият материал, защото е твърд, устойчив на износване и химически инертен. Той няма да разгради никаква значителна повърхност и не се влияе чрез многократни цикли на вафлата (разположение/ вакуумна адсорбция/ охлаждане). ЧернотоАлуминиев оксиде размерен стабилен, следователно няма да се променя въпреки температурните промени, които се появяват естествено по време на процеса (отопление и охлаждане) или в околната среда.
Химическата устойчивост е друго ключово предимство на черния алуминиев оксид. Чък може да работи в агресивно почистване, плазма и ецване на среди, без да компрометира неговата структурна цялост. Неговата инертност предотвратява замърсяването на повърхността на вафли, като гарантира висока чистота на процеса и придържане към стандартите за чисти стаи.
Микропорестата структура предлага и поддържаща повърхност, която облекчава концентрацията на напрежение върху тънки и чупливи вафли. В тандем с прецизна повърхностна плоска и гладка повърхностна покритие, порестите алуминиеви патрони ще сведат до минимум появата на микро-креки и драскотини, които биха могли да компрометират целостта на вафлата под ръка.
Алуминиев керамикаИма превъзходна твърдост, висока механична якост, нисък топлинен коефициент на разширяване и отлична термична стабилност, което го прави практичен материал за прецизно полупроводниково приложение. Също така, неговата химическа инертност означава, че тя може да издържи на киселини, алкали и плазма, докато свойствата на износване на устойчивост гарантират издръжливост, тези предимства правят алуминиевата материал за избор на микропорести вакуумни патрони и осигуряват както надеждност, така и предсказуемост на работата.
В заключение, порестият алуминиев патрон е проектиран да доставя равномерно и оцеляло обработка на вафли. Неговата микропореста черна алуминиева структура предлага дори вакуумна адсорбция (равномерност), като същевременно минимизира механичния стрес и намаляването на увреждането на вафли. Като патрон, съществената и оптимална порьозност заедно с изключителни термични, механични и химични свойства, спомага за оптимизиране на безопасността, стойността и надеждността на вафлията в суровите условия на производство. Отличната комбинация от здрава, равномерна и безопасна боравене, която порестите алуминиеви патрони могат да предложат на производителите, са просто редки и уникални.