AL2O3 вакуумни патрони

Vacuum Chucks Semicorex Al₂o₃ са прецизни микропорести керамични компоненти, разработен за приложения за обработка на вафли, фиксиране и обработка в полупроводниковата индустрия. Изработена от черен алуминиев оксид с контролирана порьозност от 35%-40%, той е изключително стабилна, чиста и надеждна среда за процесите на вакуумна адсорбция. Чък комбинира керамичната обработка на субстрата върху функционална повърхност, използвайки усъвършенствани техники за производство, за да осигури постоянни характеристики на засмукване на крехката вафла на потребителя по време на критичните стъпки на процеса.

ЧерноАлуминий (al₂o₃); има уникален баланс на механична якост, твърдост и химическа устойчивост в сравнение с металите и полимерите. Микропорестата структура е оптимизирана за контролирана порьозност, за да осигури постоянно вакуумно разпределение по повърхността на вакуумния патрон. Постоянното разпределение на вакуума в цялата повърхностна площ на вафла патрон минимизира локализираните концентрации на напрежение, ограничавайки риска от изкривяване на вафли, чипиране на ръба и счупване. Тъй като производството на вафли продължава да се увеличава в диаметър, а геометриите и устройствата стават по -крехки, добивът на процеса и подобрената надеждност на обработката на вафли стават критични изисквания.

Контролираната порьозност от 35–40% представлява ключова характеристика на този вакуум. Оптимизираната порна мрежа може да сведе до минимум турбулентността по време на евакуацията на въздуха от зоната на порите и да поддържа силата на задържане, като същевременно запазва механичната якост и издръжливостта. За разлика от тях, механичните скоби използват плаки, които причиняват локализирани точки на напрежение и работят срещу механичните свойства на отделната вафла. Следователно микропорестата алуминиева повърхност е превъзходна при задържане на вафли плоски и несъвместимо по време на механични подходи. Това създава перфектен кандидат за високотехнологични полупроводникови процеси, които се възползват от плоскост на вафли и гладко задържане, включително литография, офорт, отлагане и метрология.

От термична гледна точка, черният алуминиев материал има отлична тази способност да поддържа стабилността на размерите по време на повишена температура. С нисък коефициент на термично разширение вакуумният патрон е в състояние да остане точен дори по време на цикли на отопление и охлаждане, което е критичен аспект поради бързото колебание на температурата, често срещан в среда за обработка на вафли. Твърдостта и устойчивостта на износване на тази керамика също увеличават дълголетието на патронника, намалявайки честотата на поддръжката на операторите на оборудване и намаляване на общите разходи за собственост.

Химическата инертност на алуминиевата керамика е още едно съществено свойство. В полупроводниковите фабрики компонентите на оборудването трябва да понасят агресивни химикали, почистващи средства или плазмена среда без влошаване. Черният алуминий има отлични свойства за устойчивост на корозия, окисляване и/или замърсяване на повърхността и по този начин запазва структурата и структурната/фазичната стабилност по време на периоди на възбуден работен цикъл. Това свойство също означава, че вафлите не са подложени на замърсяване, което предпазва веригата от това как се представят тези устройства, а също така се доверяват на протоколите за чиста стая.

Не само вакуумните патрони Al₂o₃ проявяват отлични функционални показатели, повърхностното покритие също е строго контролирано. Финалът е създаден с помощта на високоточни процеси за обработка и полиране, които дават равномерност и гладкост, така че деликатните вафли да се държат без драскотини или увреждане на повърхността. Силно проектираната порьозност на материала дава подходящ баланс между засмукване и повърхностна защита, което позволява адекватна сила на задържане на вафлата, като същевременно се избягва всякакви щети на тънки, чупливи субстрати.

От оперативна гледна точка вакуумните патрони Al₂o₃ са критичен компонент в съвременното производство на полупроводникови. Той улеснява автоматизацията, което позволява на вафлите да бъдат подредени, поставени, подравнени и обработени, надеждно удовлетворяващи изискванията на процеса. Черният цвят на алуминий също подпомага и осигурява прагматични предимства чрез намаляване на отражението на светлината по време на оптични проверки и процеси на измерване, особено когато се използва оптично оборудване с висока точност.

Комбинирането на усъвършенствана керамична технология с добре обмислен дизайн даде в вакуумните патронници Al₂o₃, дълготрайно решение за високопроизводител на полупроводникови производители на вафли. Вакуумният патрон Al₂o₃ подобрява производителността чрез намалена загуба на вафли, намалява престоя поради издръжливост и повишава стабилността на процеса, като осигурява постоянна сила на задържане на вакуум.

Semicorex al₂o₃ вакуумни патрони, направени от микропорест черноАлуминиев оксиде нещо повече от просто приспособление; Той е критичен фактор за прецизно производство на полупроводници. Със своята оптимизирана порьозност, изключителни свойства на материала и стабилна производителност, той осигурява надеждно боравене с вафли в най -взискателните процеси на производство. За производителите, които се стремят да постигнат по -висок добив, подобрена ефективност на процеса и превъзходно оборудване, черният вакуум за алуминиев алуминиев оксид е незаменим избор.