SOI, съкратено от Silicon-On-Insulator, е процес на производство на полупроводници, базиран на специални субстратни материали. След индустриализацията си през 80-те години на миналия век, тази технология се превърна във важен клон на модерните процеси за производство на полупроводници. Отличаващ се......
Прочетете ощеЕлектростатичният патронник изпълнява множество функции като равномерен електростатичен разряд, топлопроводимост и адсорбция и фиксация на пластини в областта на производството на полупроводници. Една от основните функции на ESC е стабилно адсорбиране на пластини при екстремни работни условия като в......
Прочетете ощеПри производството на пластини със свръхвисока чистота, пластините трябва да достигнат стандарт на чистота над 99,999999999%, за да осигурят основните свойства на полупроводниците. Парадоксално, за да се постигне функционална конструкция на интегрални схеми, специфични примеси трябва да бъдат въведе......
Прочетете ощеКерамичните вакуумни патронници са изработени от порести керамични материали с равномерно разпределение на размера на порите и вътрешна взаимосвързаност. След шлайфане повърхността е гладка и деликатна с добра плоскост. Те се използват широко в производството на полупроводникови пластини като силици......
Прочетете ощеИзборът на пластини има значително влияние върху разработването и производството на полупроводникови устройства. Изборът на пластини трябва да се ръководи от изискванията на конкретни сценарии на приложение и трябва да бъде внимателно оценен, като се използват следните ключови показатели.
Прочетете ощеОборудването за сухо ецване не използва мокри химикали за ецване. Той основно въвежда газообразен ецващ агент в камерата през горен електрод с малки проходни отвори. Електрическото поле, генерирано от горния и долния електрод, йонизира газообразния ецващ агент, който след това реагира с материала, к......
Прочетете още