Микропорест керамичен патронник

Микропорест керамичен патронник Semicorex като ключов компонент при обработката на пластини в полупроводника. Тъй като основната част на микропорестия керамичен патронник, отворите на микропорестата керамика обикновено са изключително малки, изисква се порьозността да бъде около 30%~50%. Изисква се диаметърът на отвора да бъде на микро ниво, дори нано ниво. Може да гарантира, че детайлът ще бъде здраво закрепен към вакуумния патронник, предотвратява лошите фактори с повърхностни драскотини, вдлъбнатини и т.н., поради отрицателното налягане. Междувременно, когато използвате вакуумен патронник от алуминий по време на процеса на фотолитография на електронни компоненти, това обикновено изисква порестАлуминиева керамикапатронникът да е черен, за да се избегнат смущения, причинени от разсеяна светлина, отразена от патронника.

Тъй като структурата надвуалуминиев оксидвакуумните патронници са сравнително прости, разходите за производство и поддръжка са ниски, а силата на адсорбция също е относително лесна за регулиране, пластината може да бъде абсолютно стабилна и фиксирана по време на обработката чрез регулиране на работното състояние на вакуумната помпа или разстоянието между патронниците. Въпреки това, когато пластината се обработва във вакуум или среда с ниско налягане като химическо отлагане на пари, вакуумният патронник не може да разчита на разликата в налягането, което ограничава приложенията му. Освен това, когато пластината се абсорбира върху повърхността на микропорестия керамичен патронник, тя ще се деформира поради въздушното налягане, след което пластината може да отскочи обратно след обработката, което води до вълнообразна повърхност на срязаната повърхност, намалена плоскост на повърхността и въздействие върху точността на обработка. И така, микропорестият керамичен патронник обикновено се използва за фиксиране или носене на някои плоски и добре запечатани компоненти, като метална плоча. И при обработката на полупроводници, обикновено се прилага в процеса на нисък клас.

Микропорестите керамични патронници Semicorex са високопрецизни компоненти за вакуумно задържане, предназначени за приложения, изискващи еднаква сила на затягане, отлична плоскост и работа без замърсяване. Разработени за производители на OEM оборудване и усъвършенствани производствени среди, керамичните патронници Semicorex осигуряват стабилно и повтарящо се фиксиране на детайла, където механичното затягане или конвенционалните дизайни на вакуумни патронници са недостатъчни.

Основни характеристики на производителността

Равномерно разпределение на вакуума по цялата повърхност

За разлика от конвенционалните вакуумни патронници, които разчитат на дискретни вакуумни отвори, микропорестите керамични патронници Semicorex използват напълно взаимосвързана микропореста структура за равномерно разпределяне на вакуума по повърхността на патронника.

Този дизайн осигурява:

Еднаква сила на задържане върху цялата контактна площ

Намалено локализирано напрежение и деформация на детайла

Подобрена стабилност за тънки, чупливи или гъвкави субстрати

В резултат на това тези патронници са особено подходящи за силиконови пластини, стъклени панели, сапфирени субстрати, керамика и композитни материали.

Висока плоскост и стабилност на размерите

Микропорестите керамични патронници Semicorex се произвеждат с помощта на процеси на прецизно синтероване и повърхностна обработка за постигане на висока плоскост и дългосрочна стабилност на размерите.

Типичната плоскост може да се контролира в рамките на толеранси на микронно ниво, в зависимост от размера и приложението

Ниското топлинно разширение минимизира деформацията при температурни колебания

Това гарантира постоянна точност на позициониране при процеси на шлайфане, полиране, проверка и литография.

Чиста работа без частици

Усъвършенстваните керамични материали по своята същност са неметални, немагнитни и устойчиви на корозия, което прави микропорестите керамични патронници Semicorex подходящи за чисти и чувствителни производствени среди.

Основните предимства включват:

Без метално замърсяване

Ниско генериране на частици

Съвместимост с приложения за чисти помещения

Тези свойства ги правят идеални за производство на полупроводници, производство на оптични компоненти и обработка на прецизна електроника.

Материални и структурни предимства

Контролирана микропореста керамична структура

Размерът на порите и порьозността на микропорестите керамични патронници Semicorex са внимателно проектирани, за да балансират скоростта на вакуумния поток, силата на задържане и механичната якост.

Равномерното разпределение на порите поддържа стабилна работа на вакуума

Микропорестата структура намалява внезапната загуба на налягане по време на работа

Подобрена надеждност на задържане в сравнение с вакуумните патронници с пробити отвори

Тази структура осигурява постоянна производителност на затягане по време на непрекъсната работа.

Типични приложения

Микропорестите керамични патронници Semicorex се използват широко в:

Шлифоване и полиране на полупроводникови пластини

Обработка на стъклени, сапфирени и керамични субстрати

Производство на оптични компоненти

Системи за прецизна обработка и метрология

Тяхната стабилна и повторяема производителност ги прави много подходящи за автоматизирани производствени линии с висока точност.

ЧЗВ – микропорест керамичен патронник Semicorex

Какво е основното предимство на микропорестия керамичен патронник?

Осигурява еднаква сила на задържане на вакуума по цялата повърхност, минимизирайки деформацията и подобрявайки стабилността на процеса.

Подходящи ли са керамичните патронници Semicorex за тънки вафли?

да Те са особено ефективни за тънки, чупливи или гъвкави детайли, които изискват равномерно разпределение на налягането.

Могат ли микропорестите керамични патронници Semicorex да бъдат персонализирани за OEM оборудване?

да Размерите, порьозността и спецификациите на повърхността могат да бъдат пригодени за специфични за OEM приложения.

Как се поддържат микропорестите керамични патронници?

Рутинното почистване обикновено е достатъчно. Керамичната структура е устойчива на износване, корозия и химическо разграждане.