Керамични алуминиеви патронници за пластини

Мултипорьозният характер на Semicorex Alumina Ceramic Wafer Chucks осигурява висока специфична повърхност, което означава, че повече повърхност е достъпна за взаимодействие с целевия обект. Високата порьозност допринася за подобрена адсорбционна способност, което позволява сигурно и равномерно задържане на пластини по време на смилане. Тази еднаквост е от съществено значение за постигане на висококачествени повърхности на пластини без дефекти, което е основно изискване при производството на полупроводници.

Керамичните патронници за вафли от алуминиев оксид показват добра топлопроводимост, която е от съществено значение за ефективното разсейване на топлината по време на процеса на смилане. Това управление на топлината предотвратява повреда както на патронника, така и на детайла, осигурявайки висока прецизност при производството на пластини. Освен това, способността на алуминиево-керамичните вафлени патронници да издържат на високи температури без деформация или загуба на структурна цялост ги прави подходящи за приложения, които работят при екстремни условия, като оборудване за обработка на полупроводници.

Инертният характер на алуминиевите керамични вафлени патронници придава силна устойчивост на корозия от голямо разнообразие от химикали. Тази устойчивост на корозивни вещества е не само от решаващо значение за поддържане на целостта на патронника, но и за предотвратяване на замърсяване на пластините по време на обработката. Химическата стабилност гарантира, че патронниците за керамични пластини от алуминиев оксид не реагират с химикали от процеса или обработвания материал, което е от първостепенно значение при производството на полупроводници и други чувствителни приложения.