Краен ефектор от алуминий

Изборът на материала за крайния ефектор на алуминиев оксид Semicorex се ръководи от уникалната пригодност на керамиката с алуминиев оксид с висока чистота за суровите среди, срещани при производството на полупроводници: 

Изключителна чистота за контрол на замърсяването: Крайният ефектор от алуминиев оксид, включващ високочиста алуминиева керамика като субстрат, се характеризира с изключително ниски нива на примеси, което гарантира, че няма да въведе замърсители, които биха могли да компрометират електрическите свойства или работата на чувствителните полупроводникови устройства.

Стабилност при висока температура за гъвкавост на процеса:Крайният ефектор от алуминиев оксид показва отлична термична стабилност, запазвайки своята структурна цялост и точност на размерите дори при повишени температури, срещани в процеси като термично окисляване, дифузия и химическо отлагане на пари.

Химическа инертност за сурови среди:Присъщата химическа устойчивост на алуминиевия краен ефектор го прави непроницаем за широка гама от киселини, основи и разтворители, които обикновено се използват в обработката на полупроводници. Тази инертност предотвратява корозията или разграждането на крайния ефектор, като гарантира неговата дългосрочна работа и минимизира риска от замърсяване с частици.

Здрави механични свойства за удължен експлоатационен живот:Алуминиевата керамика е известна със своята твърдост, устойчивост на износване и способност да издържа на повтарящи се цикли на работа и почистване без влошаване. Тази здравина се изразява в удължен експлоатационен живот на крайния ефектор от алуминиев оксид, намалявайки разходите за подмяна и времето за престой.

Прецизността, чистотата и издръжливостта на крайния ефектор от алуминиев оксид го превърнаха в основен компонент в редица критични процеси за производство на полупроводници:

Фотолитография:Прецизното подравняване и поставяне на пластини са от първостепенно значение във фотолитографията, където дори леки отклонения могат да доведат до грешки при неправилно подравняване и повреда на устройството. Крайният ефектор от алуминиев оксид осигурява необходимата точност и стабилност за тази критична стъпка на процеса.

Химическа механична планаризация (CMP):Способността да издържа на химически агресивните суспензии и механичните сили, включени в CMP, прави крайния ефектор от алуминиев оксид идеален за работа с вафли по време на този критичен процес, който планаризира повърхността на вафлата за последващо наслояване.

Инспекция на вафли и метрология:Незамърсяващият и неувреждащ характер на алуминиевия краен ефектор го прави идеален за работа с пластини по време на контролни и метрологични процеси, осигурявайки точни измервания и минимизирайки риска от въвеждане на дефекти.