Електростатичен патронник

Използвайки високочиста алуминиева керамика, електростатичният патронник Semicorex осигурява първокласна производителност в настройки, които дават приоритет на прецизността, стабилността и чистотата. Двуалуминиевият оксид, известен още като алуминиев оксид (Al2O3), е керамичен материал, известен със своите изключителни електрически изолационни свойства, висока топлопроводимост и изключителна механична якост. Тези свойства го правят идеален материал за конструиране на електростатичен патронник, проектиран да издържа на взискателните условия на обработка на полупроводници. Двуалуминиево-керамичният ESC е проектиран да издържа на високи температури, корозивни среди и механични натоварвания по време на работа и обработка на пластини, играейки критична роля за осигуряване на добива и качеството на полупроводниковите устройства.

Основният принцип зад електростатичния патронник е електростатичната сила, използвана за сигурно задържане на пластината на място. Тази сила се генерира чрез прилагане на напрежение към електродите, вградени в керамичния материал. Взаимодействието между електростатичното поле и индуцираните заряди върху повърхността на пластината създава силна сила на затягане, която държи пластината срещу повърхността на патронника. Дизайнът на алуминиевия керамичен ESC гарантира, че тази сила на затягане е равномерно разпределена върху пластината, минимизирайки риска от приплъзване или повреда по време на обработка.

Едно от ключовите предимства на използването на алуминиева керамика в конструкцията на електростатичните патронници са нейните изключителни електроизолационни свойства. Високата диелектрична якост на алуминиевия оксид позволява прилагането на високи напрежения без риск от електрически срив, което е от решаващо значение за поддържане на целостта на електростатичното поле. Това е особено важно при процеси като плазмено ецване или химическо отлагане на пари, където пластината е изложена на силно реактивни среди и всяка промяна в силата на затягане може да доведе до дефекти или повреда на пластината.

В допълнение към своите електрически свойства, алуминиевата керамика показва отлична топлопроводимост, която е от съществено значение за управлението на топлината, генерирана по време на обработката на полупроводници. Способността на електростатичния патронник да разсейва ефективно топлината помага да се поддържа стабилна температура в пластината, намалявайки термичните градиенти, които биха могли да доведат до изкривяване или други форми на топлинен стрес. Тази термична стабилност е от решаващо значение за осигуряване на прецизност и повторяемост на процеси като фотолитография, където дори леки температурни отклонения могат да повлияят на резултата.