Персонализируеми керамични дюзи

Персонализиращите се керамични дюзи са важни полупроводникови компоненти, използвани за свързване на вътрешната и външната част на реакционната камера в HDP-CVD процеса. Прецизно обработените персонализирани керамични дюзи помагат за прецизно подобряване на контрола на скоростта на потока на технологичния газ, минимизиране на възможната турбуленция и подпомагане на формирането на по-равномерна и стабилна отражателна среда.

Semicorex използва технология за обработка с цифрово управление, за да постигне високопрецизна и високоефективна персонализирана обработка на керамични дюзи. Технологията за прецизна механична обработка стриктно контролира толерансите на размерите на вътрешния диаметър, външния диаметър и дължината на керамичните дюзи в рамките на стандартния диапазон, осигурявайки висока степен на последователност във формата и размера на дюзите, като по този начин значително подобрява еднородността и стабилността на спрея при реална работа.

Най-добрата повърхностна обработка придава персонализиращи се керамични дюзи с гладка и равна повърхност и размер на порите без пукнатини, пори, примеси и други дефекти, минимизирайки изтичането на течност или смесването на примеси в най-голяма степен. Най-добрият процес на обработка на повърхността придава персонализиращи се керамични дюзи с гладка и равна повърхност без пукнатини, пори, примеси и други дефекти, минимизирайки изтичането на течност или смесването на примеси в най-голяма степен. Керамичните дюзи с възможност за персонализиране, които са преминали през ултра-чиста почистваща обработка, не съдържат замърсяване с частици и имат чистота на ниво полупроводник, което гарантира, че клиентите постигат равномерни и незамърсени резултати от висококачествено отлагане на филм.

Апертурата и структурата на формата на тази персонализирана керамична дюза са научно оптимизирани и проектирани, което позволява точен контрол на газовия поток. Този дизайн не само влияе пряко върху еднородността и контрола на дебелината на филма, но също така ефективно намалява различните дефекти в отложения слой, осигурявайки надеждна гаранция за свързания производствен процес на отлагане на филм.

Техническият екип на Semicorex може да осигури пълно техническо сътрудничество от избора на материал до керамичните дюзи, като инжектира висока стабилност, дълъг експлоатационен живот и ниска мощност на ядрото за поддръжка във вашия производствен процес. За да отговори на диференцираните изисквания на различните работни условия, Semicorex внимателно избира три високоефективни материала —силициев карбид, двуалуминиев оксидицирконий— за да отговаря точно на вашите технически изисквания. Ние приемаме персонализирани услуги въз основа на предоставени чертежи. Независимо дали става въпрос за очертанията, толеранса на размерите или параметрите на отвора, свързани с основните функции (включително размер на отвора, дизайн на типа отвор, покритие на вътрешната стена и други детайли), нашият технически екип може да приспособи персонализирани керамични дюзи, които отговарят на вашите работни условия за вас.