Двуалуминиев патронник с пръстеновидни канали

Двуалуминиеви патронници с пръстеновидни канали Semicorex приемат повърхностна структура, състояща се от поредица от множество концентрични пръстеновидни канали. Когато са свързани с вакуумната помпа, тези жлебове образуват пръстеновидни зони с отрицателно налягане за стабилно задържане на тънки пластини и детайли с прецизно позициониране. Двуалуминиевите патронници с пръстеновидни канали Semicorex функционират добре при работни условия, изискващи строго управление на плоскостта и равномерно разпределена адсорбционна сила, които се прилагат широко при задържане на пластини, позициониране на експониране, плазмено ецване, както и процеси на инспекция на пластини и трансфер.

Предимства на пръстеновидно набраздени двуалуминиеви патронници Semicorex

1. Изключителна устойчивост на висока температура

Керамиката от алуминиев оксид, произведена чрез уплътняващо синтероване, показва забележителни термични характеристики. Благодарение на това свойство на материала пръстеновидно набраздените алуминиеви патронници Semicorex работят стабилно при екстремни високи температури на работна среда без структурна деформация и влошаване на производителността при дългосрочна употреба.

2. Еднаква сила на адсорбция

Semicorex пръстеновидно-набразденалуминиев патронникимат множество пръстеновидни жлебове на тяхната адсорбционна повърхност, в които се образуват стабилни пръстеновидни вакуумни зони. Тази конфигурация позволява постоянна адсорбционна сила в основните зони на контакт на пластините, което по този начин значително намалява частичната деформация на пластините и деформацията.

3. Превъзходна структурна стабилност и висока повторяема точност на позициониране

Отличавайки се с превъзходна твърдост на материала и структурна стабилност, пръстеновидно набраздените двуалуминиеви патронници Semicorex са в състояние да поддържат отлична плоскост и постоянна точност на позициониране по време на многократна операция на вакуумно затягане за дълго време.

4. Силна химическа устойчивост на корозия

Порадидвуалуминиев оксидБлагодарение на надеждната химическа стабилност, пръстеновидно набраздените алуминиеви патронници на Semicorex се характеризират с изключителна устойчивост на повечето киселинни и алкални вещества, както и на различни корозивни технологични газове и са силно адаптирани към предизвикателни корозивни работни условия.

5. Отлична чистота

Благодарение на строгия контрол на чистотата на материала и обработката за уплътняване, пръстеновидно набраздените алуминиеви патронници на Semicorex рядко отделят частици или отделят примеси по време на работа, което напълно отговаря на строгите стандарти за ниско замърсяване в чистите помещения за полупроводници.

Защо да изберете Semicorex?

Като водеща в индустрията компания в Китай, Semicorex е подкрепена с интегрирани производствени линии и опитен технически екип. Ние можем да предложим персонализирана техническа поддръжка и оптимизирани технологични решения на нашите клиенти и да им предоставим нестандартно персонализирано производство на нашите пръстеновидно набраздени алуминиеви патронници с чистота на материала, форма на патронниците, размери, плоскост, допустими отклонения и други изисквания.