Плочи за полиране на вафли от алуминий

Двуалуминиева пластина Semicorex полиращи плочиса прецизно обработени части, изработени от алуминиев оксид с висока чистота чрез изостатично пресоване, високотемпературно синтероване и прецизна обработка. Те са идеални за приложения за прецизно полиране със строги изисквания за свръхвисока повърхностна прецизност и ефективност, особено за полиране на полупроводникови пластини, тъй като алуминиевата керамика предлага изключителни физични и химични свойства.

---

Дълъг живот за отлична устойчивост на износване

Високата устойчивост на износване е от съществено значение за плочите за полиране на вафли, използвани при високопрецизна обработка. Твърдостта по Mohs на алуминиевата керамика е около 9, на второ място след диаманта и силициевия карбид, което позволява на плочите за полиране на пластини да издържат на високоскоростни, високонатоварени работни условия на триене по време на полиране на полупроводникови пластини с ниска загуба на износване. С тази отлична устойчивост на износване плочите за полиране на пластини от алуминиев оксид показват издръжлив експлоатационен живот, значително намалявайки честотата на спиране на оборудването за подмяна и намалявайки разходите за поддръжка и подмяна.

Изключителна термична стабилност и устойчивост на високи температури

АлуминийПлочите за полиране на вафли могат да запазят своите физически свойства и характеристики на триене по време на среда с висока температура от 1000 ℃ поради изключителната си термична стабилност и устойчивост на висока температура. Те са подходящи за работни условия при висока температура, причинени от често триене, като ефективно избягват термичната деформация и допринасят за поддържане на постоянна полираща повърхност.

Надеждна устойчивост на химическа корозия

Плочите за полиране на вафли от алуминиев оксид се характеризират с надеждна устойчивост на химическа корозия. Те могат да издържат на повечето киселини и основи, както и на обичайните химически полиращи разтвори, използвани в CMP процеса. Тяхната плоскост на повърхността няма да бъде компрометирана от химическа корозия, което да повлияе на качеството на повърхността на полупроводниковите пластини.

---

Приложения за пластини за полиране на вафли Semicorex Алуминий

1. Полиране на полупроводникови пластини

Плочите за полиране на вафли от алуминиев оксид се използват широко при шлайфане, грубо полиране и окончателно полиране на силиций, SiC, сапфир и различни субстрати за вафли. Благодарение на ултраниската си грапавост и наномащабната плоскост на повърхността, плочите за полиране на алуминиеви пластини могат идеално да отговорят на взискателните изисквания за качество на повърхността на усъвършенствани полупроводникови процеси като ецване и литография.

2. Изтъняване на пластини и полиране на ръбове

По време на процеса на изтъняване на пластини могат да се използват плочи за полиране на пластини от алуминиев оксид за прецизен контрол на дебелината на пластини и равномерно отстраняване на материалите от задната страна. В процеса на полиране на ръбове, плочите за полиране на алуминиев оксид също могат да помогнат за постигане на оптимално качество на ръбовете на пластините чрез елиминиране на неравностите и дефектите по ръбовете на пластините.