Алуминиев робот ръка

Arm Alumina arm Alumina Alumina е високоефективна керамична част, предназначена за задачи за работа с вафли и трансфер в производството на полупроводници. Изработена от алуминиева керамика с висока чист (Al₂o₃), тази роботизирана ръка предлага гъвкавост, прецизност, надеждност и издръжливост в чисти помещения.

Това, което се откроява в полза на рамото на алуминиевия робот, е свойствата наАлуминиев керамикаМеханична якост и твърдост. AsАлуминиев оксиде направен по -чист, алуминиев оксид поддържа по -добра структурна цялост и я прави по -устойчив на механично износване и деформация. Като материал, алуминиев оксид е чудесен избор за роботизирани части, които се използват при деликатни и повтарящи се задачи за обработка на вафли, т.е. когато рамото на робота трябва да изпълнява същата функция и да осъществи контакт с вафли, че незначителното изкривяване, приложено към вафлата от рамото на робота, може да струва загубите на добив на съоръжението. Високата твърдост, т.е. твърдите повърхности, може да помогне за абразивно съпротивление и функционален живот, т.е. удължаване на живота и продължителността на обслужване/ подмяна на роботизиран компонент.

Отвъд механичната си издръжливост, рамото на алуминиевия робот също е отличен електрически изолатор. Съпротивлението е до 10⁵ Ω · cm, а силата на изолацията е до 15 kV/mm при стайна температура, осигурявайки много по -безопасна среда за работа, особено когато намесата на електрически сигнали трябва да бъде намалена в оборудването за преработка. Това става важно при защита на чувствителни компоненти на полупроводници, прехвърлящи между процесите с минимален риск от увреждане на електростатичния разряд (ESD).

Алуминиевата керамика е отлична за поддържане на стабилността при много високи температури. Точката на топене е около 2050 ° C и ще издържа на високи температури при полупроводникова термична обработка без изкривяване или точност на размерите. Високата топлинна устойчивост позволява ръката да се използва в процеси като бързо термично отгряване (RTA) или химическо отлагане на пари (CVD), където прецизното подравняване и термичната стабилност са от решаващо значение.

Едно от другите значими предимства на рамото на алуминиевия робот е неговата инертност. Повърхността му е инертна за повечето почистващи агенти и процесорни газове, използвани при производството на полупроводници. Следователно, тя ще остане без замърсяване и няма да допринася за замърсяване на повърхността на вафли. Тази химическа инертност е от ключово значение за постигането на ултра чисти производствени условия и осигуряване на постоянна работа на устройството.

Алуминиев керамикасъщо е достъпна опция за полупроводникови инструменти. Той е лесно достъпен като суровина и процесите на обработка на алуминиевата керамика са добре разбрани и лесно мащабируеми. Това позволява възпроизводими и последователни допустими отклонения за висококачествени части да се произвеждат на конкурентна цена. Миксът от производителност и достъпна цена прави рамото на алуминиевия робот идеален за OEM и полупроводници, където се нуждаете от надеждни компоненти за автоматизация, които не разбиват банката.

В обобщение, рамото на алуминиевия робот осигурява високи механични характеристики, високи диелектрични характеристики, висока топлинна устойчивост, високи химични характеристики, всички с доказана производителност на икономична цена. Колективно тези характеристики на производителността го правят надежден и ефективен за прецизни приложения за обработка на вафли при производството на полупроводници, което позволява подобрен добив, потенциално намалявайки риска от замърсяване и подобряване на общата ефективност на оборудването.