Алуминиеви монтажни основни плочи

Основните табели за монтаж на алуминиев алуминиев Semicorex са керамични продукти с висока чистота, проектирани като трайни и стабилни основи за монтиране на работни патрони в оборудване за производство на полупроводници. Тези плочи осигуряват критична механична поддръжка и подравняване на операции за обработка на вафли като литография, офорт, отлагане и проверка. От съществено значение е точно да се приведе в съответствие работния патрон с други компоненти на системата, за да се гарантира, че обработката на вафли може да възникне с необходимата вярност. Плочите се произвеждат чрез техники за обработка, специфични за керамиката, за да се постигне необходимата плоскост, високотемпературна издръжливост и дългосрочна надеждност, за да се отговори на суровите изисквания на съвременното производство на полупроводници както в процеса, така и в чистата среда.

Основните плочи за монтаж на алуминиев алуминиев оксид са направени от висока чистотаАлуминиев оксидИмайки ниво на чистота ≧ 99,5% (типично). Алуминиевият алуминий с висока чист има добри механични и топлинни свойства, както и твърдост. Алуминиетът с висока чист има отлични присъщи електрически изолационни свойства, които също позволяват да се използват тези плаки във вакуум и приложения с високо напрежение, където електрическите смущения могат да бъдат проблем. Алуминиев оксид ще бъде устойчив на термично колоездене, което позволява на плочите да поддържат по -добра точност на размерите в сравнение с повечето материали и е полезен за поддържане на подравняване или структурна стабилност поради намалено термично разширение. Този фактор е важен за осигуряване на повтаряемост на патронника и имплицитни допустими отклонения на процесите, като същевременно работи над разширени производствени цикли.

В системите за обработка на полупроводници монтажната основна плоча не е просто устройство за механично закрепване. Това е средата на термичен контакт между патронника и останалата част от оборудването и е от решаващо значение за термичното разсейване, структурната цялост и изолацията на вибрациите. Действия за обработка като (но не само) CVD, PVD или йонна имплантация, където високите температури и вакуумните налягания са обичайни, изискват монтажна основа да бъде термично устойчива, химически инертна и устойчива, механично здрава и устойчива на термичен шок. Химическата инертност е жизненоважна, тъй като монтажът трябва да бъде съвместим с реактивните газове, както и с почистващите химикали, удължавайки полезния живот на монтажа и предотвратявайки замърсяването.

Всяка основна плоча за монтаж на алуминиев оксид, направена от Semicorex, е обработена до допустими отклонения, изисквани от полупроводникови OEM производители и интегратори на оборудване. Плаките са обработени до тесни допустими отклонения за дебелина, изменение на височината и плоскост, за да се осигури максимална стабилност и повторяемост. Тези монтажни плочи могат да бъдат направени с монтажни дупки, слотове или противопоставяне на спецификациите на клиентите, за да се приспособи по -добре работните патронници, механичните етапи или друго оборудване. Алуминиевата керамика се обработва с помощта на съвременни техники за синтероване и прецизно смилане, за да се оптимизира еднаква микроструктура и качество на повърхността, за да се гарантира постоянен топлинен контакт и подравняване за използване във времето.

Базовите плочи за монтаж на алуминиев оксид се използват в различни приложения, включително манипулатори на вафли, роботизирани системи за трансфер, вакуумни патронници и метрологични етапи. Тази надеждност и издръжливост в различни взискателни ситуации на процеси ги прави продукт на избор с производители на инструменти, които търсят здрави, дълготрайни, ниско поддържащи керамични компоненти. Нашата инженерна група си партнира с клиентите, за да предоставят уникални решения, които са посочени за всяка плоча, за да увеличат максимално ефективността за производство в полупроводник.

Основните плочи за монтиране на алуминиев оксид са нещо повече от механична опора; Той е ключов компонент в прецизното инженерство в полупроводниковата индустрия. С отлична механична стабилност, чистота и конфигурируемост те гарантират точно подравняване, дълъг живот и надеждна работа в богат диапазон от инструменти за процес. За високоефективни монтажни основни табели отговарят на високите очаквания на днешните производители на полупроводници, доверете се на Semicorex.