Керамични алуминиеви вакуумни патронници

Керамични алуминиеви вакуумни патроннициобикновено се поставят в централната част на зоната за обработка на полупроводниково оборудване, отговорна за поддържането и фиксирането на полупроводниковите пластини. Те са свързани към вакуумните помпи и могат плътно да адсорбират полупроводникови пластини върху повърхността на керамични вакуумни патронници с помощта на принципа на вакуумна адсорбция. При действителна работа вакуумните помпи извличат въздух между пластината и патронника, създавайки вакуумна среда, която здраво държи пластината на място. Това гарантира стабилно позициониране на пластините по време на обработката и ефективно намалява грешките при обработката, причинени от изместването на пластините.

За да генерира достатъчна адсорбционна сила за фиксиране на полупроводниковата пластина, керамичният вакуумен патронник трябва да прилепне плътно към повърхността на пластината. Тъй като недостатъчната сила на адсорбция ще доведе до невъзможност за поддържане на условията на вакуум, като по този начин ще доведе до отделяне или изместване на пластината. Това поставя строги изисквания към плоскостта на повърхността на алуминиево-керамичните вакуумни патронници, за да се избегнат подобни проблеми при източника. Тяхната повърхност трябва да бъде прецизно механично полирана, за да се постигне необходимата плоскост, за да се осигури очакваният адсорбционен ефект.

От оперативна гледна точка керамичните вакуумни патронници от алуминиев оксид на Semicorex са критични компоненти за постигане на автоматизация на съвременното производство на полупроводници. Те могат да улеснят плавния напредък на автоматизацията, като позволяват точното вземане, поставяне, подравняване и обработка на пластини. Добре проектираната структура и външен вид на керамичните вакуумни патронници от алуминиев оксид позволяват бързо преминаване на въздуха, което постига ефективна вакуумна адсорбция и освобождаване и предотвратява деформация или повреда на повърхността на пластината, причинена от неподходяща адсорбционна сила. Освен това Semicorex използва лекиалуминиева керамиказа намаляване на общото тегло на алуминиевите керамични вакуумни патронници. Този избор на материал улеснява инсталирането и работата на оборудването, като по този начин значително повишава оперативната ефективност.

С толкова много забележителни характеристики, керамичните вакуумни патронници на Semicorex от двуалуминиев оксид се използват широко в производството на полупроводници като изтъняване на пластини, нарязване, шлайфане, полиране, фотолитография, ецване и други процеси за подобряване на точността на обработка и добива.