Алуминиев керамичен манипулатор

Алуминиев керамичен манипулаторсе нарича още алуминиева керамична вилица и краен ефектор за обработка на пластини. Той е инсталиран на робота за работа с вафли и е еквивалентен на ръката на робота. Използва се за пренасяне, транспортиране и позициониране на полупроводникови пластини.Силиконови пластиниса изключително податливи на замърсяване от други частици, така че обикновено се обработват във вакуумна среда, за да се гарантира чистота. Керамичните манипулатори с алуминиев оксид използват засмукване с отрицателно налягане за отстраняване на пластини и транспортиране на полупроводникови пластини чрез телескопични, въртящи се и повдигащи движения на ръката. Вътре в керамичния манипулатор с алуминиев оксид има отвори за въздух и вентилационни жлебове, които могат да образуват вакуум при изпомпване на въздух, така че полупроводниковите пластини да могат да бъдат адсорбирани чрез лек контакт без прищипване или увреждане на полупроводниковите пластини.

Всеизвестно е, че колкото по-чист е съставът наалуминиева керамикае, толкова по-висока ще бъде силата му. Алуминиеви керамични манипулатори Semicorex са изработени от алуминиева керамика с висока чистота. Това води до изключителна механична якост и твърдост. Тяхната устойчивост на износване далеч надвишава тази на стоманата и хромираната стомана, което им позволява да поддържат точността на повърхността във времето в среда с високо триене, намалявайки риска от надраскване на пластини и ги прави идеални за високопрецизна работа. Този керамичен манипулатор с алуминиев оксид има високо съпротивление. Неговите изключителни електрически изолационни свойства могат ефективно да предотвратят електростатични смущения и да намалят риска от адсорбция на частици, за да поддържат чиста повърхност на пластината. Освен това процесът на производство на полупроводници включва сложни вериги и среди с високо напрежение в оборудването. Керамичният манипулатор с висока устойчивост на алуминиев оксид ефективно блокира проводимостта на тока, осигурявайки електрическа безопасност по време на работа с полупроводникови пластини. Благодарение на устойчивостта на висока температура и термичната стабилност на керамиката от алуминиев оксид, манипулаторът се деформира много малко по време на процеса на топлинна обработка на полупроводниците, може точно да позиционира пластините и да избегне прецизно отклонение, причинено от термична деформация. Освен това, този материал има отлична химическа стабилност и е силно устойчив на корозия от киселини, основи, разтопени метали и т.н. Не е лесно да реагира с други вещества за освобождаване на замърсяващи частици и може ефективно да защити полупроводниковите части от химическо замърсяване.