Алуминиев керамичен краен ефектор

Semicorex Alumina Ceramic End Effector е основен инструмент в автоматизираните системи за пренос на вафли, предлагайки несравнима механична якост, термична стабилност и химическа устойчивост. Произведени с помощта на висока чистотаАлуминиев (al₂o₃) керамика, този краен ефектор е проектиран да отговори на строгите изисквания на средата за обработка на вафли, където прецизността, чистотата и издръжливостта са от първостепенно значение.

Оръжията на полупроводниковите роботи са една от важните части на полупроводниковото оборудване. Те обикновено са съставени от контролери, драйвери, оръжия и крайни ефектори. Те се характеризират с висока чистота, висока стабилност, висока точност, висока ефективност и висока надеждност. Полупроводниковите роботи се използват главно в процеса на преден край на полупроводниковите производствени за пренасяне, транспортиране и позициониране на полупроводникови вафли.

Керамичната структура, която има съдържание на алуминиев оксид, обикновено по-голямо от 99,5%, ще осигури превъзходна твърдост и устойчивост на износване за многократни движения във високо прецизна среда без деградация във времето. Високата топлинна проводимост и ниското термично разширяване на алуминиевата система позволяват стабилност на размерите в среда с повишена температура, необходимост от повечето операции в чиста стая в полупроводници, като например в ечър, депозитор, проверка или почистващ инструмент.

TheАлуминиев керамикаКрайният ефектор има забележително характерно повърхностно покритие, което е гладко и има ниска порьозност, което го прави близо до нулеви частици и минимизиране или нулев ефект върху замърсителите по време на обработката на вафли. Освен това, алуминиев оксид е химически инертен. Това означава, че няма да реагира с нито един от процесорните газове и всякакви процеси на течности, с които вафлата е в контакт. Това защитава вафлата и всяко замърсяване към себе си и оборудване от всичко, което може да причини корозия.

Обикновено се използват като крайни ефектори или механизъм за затягане, за роботизирани оръжия или прехвърлени модули в оборудване за производство на вафли и оборудване като ечър или инструмент за отлагане, проверка или почистващ инструмент с прецизни слотове, канали или вакуумни канали, улавящи действителния размер на вафла, независимо дали е 100 mm, 200 mm или 300 mm и прехвърлят пръчици и заснемане и заснемане за заместване. Крайните ефектори обикновено се справят с скоростта на прехвърляне на вафли при 25 cm/секунда.

Опциите за персонализиране съществуват по линиите на проектирани за специфични интерфейси на оборудването или размери на вафли. Структурната твърдост на алуминиевата система позволява тънки и леки профили, които свеждат до минимум общата маса на системата за обработка и водят до по -бързи времена на реакция. Някои конфигурации могат също така да добавят антистатични или изолиращи компоненти, за да осигурят допълнителна защита на чувствителните електронни субстрати.

Като цяло, алуминиевият краен ефект на керамичния край осигурява ефективно решение, което насърчава подобрен добив и намалено замърсяване, където оперативната надеждност е ключови елементи за линията за обработка на вафли. Със своята издръжливост и характеристики на физическите характеристики, ефективният и рентабилен алуминиев краен ефект на керамичния край се отличава като популярен избор сред производителите на полупроводниково оборудване и FABS, които изискват строги стандарти за производство в ултра чиста среда.