Вакуумен патронник Al2O3

Приложения в производството на полупроводници

Вакуумният патронник Semicorex Al2O3 е универсален инструмент, използван в множество етапи от производството на полупроводници:

Изтъняване: По време на процеса на изтъняване на пластини, вакуумният патронник Al2O3 осигурява стабилна и равномерна опора, осигурявайки високопрецизно намаляване на субстрата. Това е от решаващо значение за подобряване на разсейването на топлината на чипа и подобряване на производителността на устройството.

Нарязване на кубчета: В етапа на нарязване на кубчета, където вафлите се нарязват на отделни стърготини, вакуумният патронник Al2O3 предлага сигурна и стабилна абсорбция, минимизирайки риска от повреда и осигурявайки чисти срезове.

Почистване: Гладката и равномерна адсорбционна повърхност на вакуумния патронник Al2O3 го прави подходящ за процеси на почистване на пластини, като гарантира, че замърсителите се отстраняват ефективно, без да се повреждат пластините.

Транспортиране: По време на обработка и транспортиране на пластини, вакуумният патронник Al2O3 осигурява надеждна и сигурна опора, намалявайки риска от повреда и замърсяване.

SemicorexВакуумЧък Флоу

Предимства на вакуумния патронник Semicorex Al2O3

1. Единна микропореста керамична технология

Вакуумният патронник Al2O3 е конструиран чрез микропореста керамична технология, която включва използването на нанопрахове с еднакъв размер. Тази технология гарантира, че порите са равномерно разпределени и свързани помежду си, което води до висока порьозност и еднакво плътна структура. Тази еднаквост подобрява производителността на вакуумния патронник, осигурявайки последователна и надеждна поддръжка на пластини.

2. Изключителни свойства на материала

Свръхчистият 99,99% алуминиев оксид (Al2O3), използван във вакуумния патронник Al2O3, предлага набор от изключителни свойства:

Термични свойства: С висока устойчивост на топлина и отлична топлопроводимост, вакуумният патронник Al2O3 може да издържи на високите температури, които обикновено се срещат при производството на полупроводници.

Механични свойства: Високата якост и твърдост на алуминиевия оксид гарантират, че вакуумният патронник Al2O3 е издръжлив и устойчив на износване и разкъсване, осигурявайки дълготрайна работа.

Други свойства: Двуалуминиевият оксид също предлага висока електрическа изолация и устойчивост на корозия, което прави вакуумния патронник Al2O3 подходящ за широк спектър от производствени среди.

3. Превъзходна плоскост и паралелност

Едно от ключовите предимства на вакуумния патронник Al2O3 е неговата висока плоскост и успоредност. Тези свойства са от решаващо значение за осигуряване на прецизно и стабилно боравене с пластини, минимизиране на риска от повреда и осигуряване на последователни резултати от обработката. В допълнение, добрата пропускливост на въздуха и равномерната сила на адсорбция на вакуумния патронник Al2O3 осигуряват гладка и надеждна работа.

4. Опции за персонализиране

В Semicorex разбираме, че всеки производствен процес на полупроводници има уникални изисквания. Ето защо ние предлагаме персонализирани вакуумни патронници, пригодени да отговарят на вашите специфични нужди. В зависимост от необходимата плоскост и производствените разходи, ние препоръчваме различни основни материали, като гарантираме, че теглото и производителността на вакуумния патронник са оптимизирани за вашето приложение. Тези материали включват неръждаема стомана SUS430, алуминиева сплав 6061, плътна алуминиева керамика (цвят на слонова кост), гранит и плътна керамика от силициев карбид.

Измерване на CMM с вакуумен патронник Al2O3