6-инчова N-тип SiC пластина

Semicorex предоставя различни видове 4H и 6H SiC пластини. Ние сме производител и доставчик на вафли от много години. Нашата двойно полирана 6-инчова N-тип SiC пластина има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex разполага с пълна гама продукти от силициев карбид (SiC), включително 4H и 6H субстрати с N-тип, P-тип и полуизолационни пластини с висока чистота, те могат да бъдат с или без епитаксия. Нашият 4-инчов N-тип SiC (силициев карбид) субстрат е вид висококачествена пластина, направена от единичен кристал от силициев карбид с N-тип допинг, който е двойно полиран.

6-инчов N-тип SiC Wafer се използва главно в нови енергийни превозни средства, високоволтови предавания и подстанции, бяла техника, високоскоростни влакове, електрически двигатели, фотоволтаични инвертори, импулсни захранвания и други области, които имат предимствата на намаляване на оборудването загуба на енергия, подобряване на надеждността на оборудването, намаляване на размера на оборудването и подобряване на производителността на оборудването и имат незаменими предимства при производството на силови електронни устройства.

Предмети	производство	Проучване	манекен
Кристални параметри
Политип	4H
Грешка в ориентацията на повърхността	<11-20 >4±0,15°
Електрически параметри
Допант	n-тип азот
Съпротивление	0,015-0,025 ом·см
Механични параметри
Диаметър	150,0±0,2 мм
Дебелина	350±25 μm
Основна плоска ориентация	[1-100]±5°
Основна плоска дължина	47,5±1,5 мм
Второ жилище	Няма
TTV	≤5 μm	≤10 μm	≤15 μm
LTV	≤3 μm (5mm*5mm)	≤5 μm (5mm*5mm)	≤10 μm (5mm*5mm)
Поклон	-15μm ~ 15μm	-35μm ~ 35μm	-45μm ~ 45μm
Деформация	≤35 μm	≤45 μm	≤55 μm
Предна (Si-лице) грапавост (AFM)	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Структура
Плътност на микротръбата	<1 ea/cm2	<10 ea/cm2	<15 ea/cm2
Метални примеси	≤5E10atoms/cm2		ТОВА
BPD	≤1500 ea/cm2	≤3000 ea/cm2	ТОВА
TSD	≤500 ea/cm2	≤1000 ea/cm2	ТОВА
Предно качество
Отпред	И
Повърхностно покритие	Si-face CMP
частици	≤60ea/вафла (размер≥0.3μm)	ТОВА
Драскотини	≤5ea/mm. Кумулативна дължина ≤Диаметър	Кумулативна дължина≤2*диаметър	ТОВА
Портокалова кора/ямки/петна/ивици/пукнатини/замърсяване	Няма		ТОВА
Крайни чипове/вдлъбнатини/счупени/шестограмни плочи	Няма
Политипни области	Няма	Кумулативна площ≤20%	Кумулативна площ≤30%
Предна лазерна маркировка	Няма
Качество на гърба
Обратно покритие	C-лице CMP
Драскотини	≤5ea/mm, Кумулативна дължина≤2*Диаметър	ТОВА
Дефекти на гърба (стружки/вдлъбнатини по ръбовете)	Няма
Грапавост на гърба	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Лазерно маркиране на гърба	1 mm (от горния ръб)
Ръб
Ръб	фаска
Опаковка
Опаковка	Epi-ready с вакуумна опаковка Опаковка за многовафлени касети
*Бележки: „NA“ означава, че няма заявка. Неспоменатите елементи може да се отнасят за SEMI-STD.