6-инчова N-тип SiC пластина

Semicorex предоставя различни видове 4H и 6H SiC пластини. Ние сме производител и доставчик на вафли от много години. Нашата двойно полирана 6-инчова N-тип SiC пластина има добро ценово предимство и покрива повечето европейски и американски пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex разполага с пълна гама продукти от силициев карбид (SiC), включително 4H и 6H субстрати с N-тип, P-тип и полуизолационни пластини с висока чистота, те могат да бъдат с или без епитаксия. Нашият 4-инчов N-тип SiC (силициев карбид) субстрат е вид висококачествена пластина, направена от единичен кристал от силициев карбид с N-тип допинг, който е двойно полиран.

6-инчов N-тип SiC Wafer се използва главно в нови енергийни превозни средства, високоволтови предавания и подстанции, бяла техника, високоскоростни влакове, електрически двигатели, фотоволтаични инвертори, импулсни захранвания и други области, които имат предимствата на намаляване на оборудването загуба на енергия, подобряване на надеждността на оборудването, намаляване на размера на оборудването и подобряване на производителността на оборудването и имат незаменими предимства при производството на силови електронни устройства.

Предмети	производство	Проучване	манекен
Кристални параметри
Политип	4H
Грешка в ориентацията на повърхността	<11-20 >4±0,15°
Електрически параметри
Допант	n-тип азот
Съпротивление	0,015-0,025 ом·см
Механични параметри
Диаметър	150,0±0,2 мм
Дебелина	350±25 Î¼m
Основна плоска ориентация	[1-100]±5°
Първична плоска дължина	47,5±1,5 мм
Второстепенен апартамент	Нито един
TTV	â¤5 Î¼m	â¤10 Î¼m	â¤15 Î¼m
LTV	â¤3 Î¼m (5mm*5mm)	â¤5 Î¼m (5mm*5mm)	â¤10 Î¼m (5mm*5mm)
Лък	-15Î¼m ~ 15Î¼m	-35Î¼m ~ 35Î¼m	-45Î¼m ~ 45Î¼m
Деформация	â¤35 Î¼m	â¤45 Î¼m	â¤55 Î¼m
Предна (Si-лице) грапавост (AFM)	Raâ¤0.2nm (5Î¼m*5Î¼m)
Структура
Плътност на микротръбата	<1 ea/cm2	<10 ea/cm2	<15 ea/cm2
Метални примеси	â¤5E10atoms/cm2		NA
BPD	â¤1500 ea/cm2	â¤3000 ea/cm2	NA
TSD	â¤500 ea/cm2	â¤1000 ea/cm2	NA
Предно качество
Преден	Si
Повърхностно покритие	Si-face CMP
частици	â¤60ea/вафла (размерâ¥0,3Î¼m)	NA
Драскотини	â¤5ea/mm. Кумулативна дължина â¤диаметър	Кумулативна дължинаâ¤2*Диаметър	NA
Портокалова кора/ямки/петна/ивици/пукнатини/замърсяване	Нито един		NA
Ръбови чипове/вдлъбнатини/счупени/шестограмни плочи	Нито един
Политипни области	Нито един	Кумулативна площâ¤20%	Кумулативна площâ¤30%
Предна лазерна маркировка	Нито един
Качество на гърба
Обратно покритие	C-лице CMP
Драскотини	â¤5ea/mm, Кумулативна дължинаâ¤2*Диаметър	NA
Дефекти на гърба (стружки/вдлъбнатини по ръбовете)	Нито един
Грапавост на гърба	Raâ¤0.2nm (5Î¼m*5Î¼m)
Лазерно маркиране на гърба	1 mm (от горния ръб)
Ръб, край
Ръб, край	фаска
Опаковка
Опаковка	Epi-ready с вакуумна опаковка Опаковка за многовафлени касети
*Забележки¼ „NA“ означава, че няма заявка. Неспоменатите артикули може да се отнасят за SEMI-STD.