Вафлен ръб шлайфаща патронник

Semicorex вафла Edge Grinding Chuck е специална керамична част, направена за процеса на смилане на ръба на вафла по време на производството на полупроводници. Керамиката е направена от висока чистота, бял алуминиев оксид (al₂o₃) с механична якост, химическа устойчивост и стабилност на размерите за поддържане на процеса на смилане на вафли. Тъй като новите технологии изискват по-големи диаметри на вафли и по-деликатни структури в устройствата, смилането на ръбове на вафли сега играе значителна роля за предотвратяване на чипиране на ръбове, микро-крекинг и добив. Алуминиевият керамичен шлайф за смилане осигурява стабилна основна линия, на която да отговаря на тези строги производствени изисквания.

Алуминиев керамикасе използва като материал на конструкцията поради невероятните му физически, химически и топлинни свойства. Белият алуминий има изключителна твърдост само с диаманта, който се нарежда по -високо по скалата на твърдостта на MOHS, което позволява на смилането на патронника да издържа на износване и абразия в обозримо бъдеще с повтаряща се употреба. Като се има предвид значителната механична якост на алуминиев оксид, вафлата може да бъде сигурно схванато и задържано, докато твърдостта на алуминиевата алуминиев оксид не позволява изкривяване или деформация, когато се прилага натоварване към частта. Като се има предвид това, алуминийът е отличен избор, за да се получат тела и опори, когато са необходими прецизност и издръжливост.

Термичната стабилност също е отличителна черта на алуминиевата керамика. С точка на топене, по -голяма от 2000 ° C и стабилност на термичния шок, патронникът може да работи в условия, при които може да се случи триене на отопление или промяна на температурата, това е последователна w.r.t, където стабилността на размерите е критична, въпреки че формата на ръба на шлифовъчните край може да придаде малко промяна в измерението. Силата на затягане остава силна за последователно поддържане на подравняването при шлифоване на ръбовете. Ниската термична проводимост на алуминиев оксид не трябва да позволява на локализираното отопление да загрява вафлата достатъчно за всякакви компромиси на целостта на вафла при обработката на деликатни субстрати полупроводници.

От химическа гледна точка алуминиевата керамика има малка реакция на киселини, алкали и плазмената среда на полупроводникова обработка. За разлика от металните патрони, които могат да корозират или полимерни тела, които могат да продължат да се разграждат без изрично наблюдение, алуминиевата керамика е имунизирана срещу тези всекидневен цикъл на обслужване при обработката на полупроводникови. Тази инертност ще осигури нулево замърсяване на повърхността на вафлите и ще поддържа чистотата на процеса, като същевременно ограничава загубата на добив.

В днешния пейзаж за производство на полупроводници процесът на смилане на ръбовете е многостранен: той подготвя вафлата за последваща обработка, а също така предлага безопасен транспорт, обработка и интеграция към най-модерните инструменти за литография и ецване. В това, смилането на ръба на вафла е важно парче от пъзела за безопасно закрепване на вафлата, задържане точно и той директно допринася за надеждността на вафла и производителността на продукта. С инвестицията в алуминиев керамика, времето се спестява чрез разширеното дълголетие на такъв актив за ограничаване на престоя, намаляване на разходите за части и увеличаване на ефективността на оборудването (OEE).

РъбАлуминиев керамикапредставлява всички предимства на сложната материална наука и прецизно инженерство. Той е пример за качествата на твърдост, устойчивост на износване, термична стабилност и химическа инертност, необходима за процеса на производство на вафли за полупроводникови вафли. Здравата производителност може да доведе до надеждно качество на ръба на вафлите, добър добив и продължителен живот на оборудването. За производителите на полупроводници се ангажират с безупречна прецизност и ефективност, алуминиевият ръб на ръба на ръба е разтворът.