Вафлен носител за MOCVD

Semicorex Wafer Carrier за усъвършенствания дизайн на MOCVD за MOCVD приложения действа като сигурна основа, експертно проектирана да поддържа полупроводникови пластини. Той предлага оптимизиран дизайн, който осигурява плътно захващане на пластините, като улеснява оптималното разпределение на газовете за равномерно наслояване на материала. Подобрен с покритие от силициев карбид (SiC) чрез химическо отлагане на пари (CVD), Wafer Carrier за MOCVD съчетава устойчивостта на графита с характеристиките на CVD SiC за издръжливост на високи температури, притежаващ незначителен коефициент на термично разширение и насърчаване на изравнено разпръскване на топлината. Това равновесие е от решаващо значение за запазване на целостта на температурата на повърхността на вафлите.

С характеристики като инхибиране на корозия, химическа устойчивост и следователно удължен експлоатационен живот, Wafer Carrier за MOCVD значително повишава както калибъра, така и добива на пластините. Неговата издръжливост представлява пряка икономическа полза, позиционирайки Wafer Carrier за MOCVD като разумен избор за доставка за вашите операции за производство на полупроводници.

Прецизно пригоден за епитаксиални процедури на вафли, Semicorex Wafer Carrier за MOCVD се отличава със сигурното транспортиране на вафли във високотемпературни пещи. Неговата издръжлива рамка гарантира, че пластините остават непокътнати, като по този начин намалява склонността към увреждане по време на критичните етапи на епитаксиален растеж.**