Вертикални кварцови вафлени лодки

В процесите на производство на полупроводници, полупроводниковите компоненти в реакционната камера трябва да отговарят на строги стандарти за висока чистота. В противен случай дори микро- или наномащабни примеси или замърсители могат да причинят необратимо увреждане на производителността и производителността на полупроводниковите устройства.

Кварцови вафлени лодкиобикновено се инсталират вертикално във високотемпературни реакционни камери като дифузионни пещи, окислителни пещи и пещи за отгряване, където трябва да са в пряк контакт с пластините. Вертикалните кварцови вафлени лодки на Semicorex са произведени от кварцови материали с висока чистота, за да отговорят на тези изисквания за висока чистота. Този мъдър избор на материал ефективно избягва замърсяването на вафлите, причинено от реагенти, освободени от вафлените лодки по време на производствения процес.

В производството на полупроводници се изисква пластинчатите лодки не само да преминат през повтарящи се цикли на нагряване-охлаждане, но и да издържат на корозията на технологичните газове за продължително време. Вертикален кварц на Semicorexвафлалодките показват изключителна стабилност на размерите в предизвикателните работни условия на постоянни термични цикли поради присъщата им термична стабилност. Тези превъзходни термични свойства значително предотвратяват деформацията на вафлите и щетите, причинени от влошаване на точността или структурна деформация на вертикалните кварцови вафлени лодки. Нещо повече, благодарение на тяхната висока химическа инертност, вертикалните кварцови вафлени лодки могат да бъдат устойчиви на реакция с корозивни газове като кислород, водна пара, хлороводород и амоняк. Това свойство значително намалява възможността химическата корозия да компрометира структурната цялост на вертикалните кварцови вафлени лодки.

В допълнение към предимствата на производителността, споменати по-горе, вертикалните кварцови лодки на Semicorex също демонстрират отлична конкурентоспособност в точността на размерите и структурния дизайн. Всяка част от тях е произведена чрез прецизни машинни техники. Този прецизен контрол на размерите осигурява точно позициониране на пластините, минимизирайки драскотините и пукнатините, причинени от изместване или сблъсъци по време на товарене, обработка и разтоварване.