Тефлонови касети

Касетите Semicorex Teflon са високоефективни носители на вафли, специално разработени за използване в взискателни химически среди, където чистотата, химическата устойчивост и топлинната стабилност са от съществено значение. Произведени от политетрафлуоретилен с висока чист (PTFE), тези касети се използват широко при производството на полупроводници, мокро ецване, химическо почистване и други приложения, където излагането на силно агресивни химикали е рутинно. Тяхната нереактивна природа ги прави идеални за работа с деликатни субстрати като силиконови вафли, стъклени панели и други прецизни компоненти, без да въвеждат замърсяване или частици в процеса.

В различни процеси на производство на полупроводници, като литография, офорт и йонна имплантация, касетите играят роля при транспортирането и прехвърлянето на вафли между различните устройства. Различното оборудване на процеса може да има различни изисквания за интерфейс за касети, за да се гарантира, че носителите на вафли могат да бъдат точно получени и поставени.

От гледна точка на материала и дизайна, материалите, които са устойчиви на топлина, имат отлични механични свойства, стабилност на размерите и обикновено се използват трайни, антистатични, ниски разходи, ниски валежи и рециклируеми. Различните размери на вафлите, обработващите възли и процесите използват различни материали. Общите материали са PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP и др.

Тефлоновите касети предлагат превъзходна химическа резистентност в среда, използвайки хидрофлуроводородна киселина, азотна киселина, сярна киселина и други силни корозиви. За разлика от конвенционалните материали като полипропилен или неръждаема стомана, PTFE не се разгражда; не набъбва; Извежда вещества в сурови химически бани. Следователно производителността е гарантирана за дълги периоди и следователно надеждността на касетите за производствени линии с висока пропускливост и ултра чиста среда. Неговата устойчивост означава по-ниски нужди за поддръжка и честота на подмяна, като по този начин намалява дългосрочните оперативни разходи.

Тефлоновите касети демонстрират много висока термична стабилност. Те могат лесно да издържат на температурите от -200 ° C до +260 ° C, приложими за криогенни, както и за високотемпературни процеси. Дори поставени в отопляеми камери за сушене или студени химически бани, касетите не губят структурната си сила; Те не се изкривяват и не се напукат, като гарантират, че вафлите ще останат безопасно по време на обработката. Тази температурна устойчивост допринася значително за контрола на процесите и равномерността, които са от решаващо значение за производството на полупроводници и MEMS.

Също толкова важна характеристика на тефлоновите касети е неговата инертна, незалепваща повърхност. PTFE по своята същност не позволява адсорбция на частици и химически остатъци, като следователно намалява рисковете от замърсяване в чисти помещения. Това трябва да бъде съчетано с гладко повърхностно покритие, което позволява изплакване на лесно и изсъхване бързо, като по този начин по -чисти резултати и по -бързи времена на цикъла. При обработката на полупроводници, при които дефектите могат да бъдат причинени дори от микроскопични замърсители, тази чистота и ниво на химическа инертност е задължително.

Всяка касета е точно направена на допустими отклонения, гарантирайки стабилно подравняване и разстояние на вафли, докато се премества и поставя в течност. Лесно проектираната им форма помага за бърз химичен поток и дренаж, който ускорява химическите валутни курсове и подобрява еднообразието на почистването или ецването на повърхността на вафлите.  Касетите се предлагат в стандартни размери за 4-инчови, 6-инчови и 8-инчови вафли, с опции за персонализиране, които да отговарят на специфичните размери на субстрата, броя на слота и изискванията за обработка.

Проектирани за съвместимост с автоматизирани мокри пейки и роботизирани системи за обработка на вафли, тефлоновите касети се интегрират лесно в повечето полупроводникови производствени настройки. Техният здрава конструкция и чист завършек от клас отговарят на строгите изисквания на ISO-сертифицираните среди. Всички касети претърпяват задълбочена проверка и са предварително почистени в ултрапроводна вода, за да отговарят на стандартите за чистота, необходими за усъвършенстваното производство на микроелектроника. Могат да бъдат предоставени сертификати за съответствие и пълна проследяване на материали, за да се гарантира спазването на протоколите за осигуряване на качеството.