Диск с приемник

Semicorex Susceptor Disc е незаменим инструмент в метало-органичното химическо отлагане на пари (MOCVD), специално проектирано за поддържане и нагряване на полупроводникови пластини по време на критичния процес на отлагане на епитаксиален слой. Susceptor Disc играе важна роля в производството на полупроводникови устройства, където прецизният растеж на слоя е от първостепенно значение. Ангажиментът на Semicorex към водещо на пазара качество, съчетан с конкурентни фискални съображения, затвърждава желанието ни да установим партньорства при изпълнение на вашите изисквания за транспортиране на полупроводникови пластини.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Изработен от графит с висока чистота и покрит със слой от силициев карбид (SiC) с помощта на техниката MOCVD, Semicorex Susceptor Disc съчетава изключителни термични свойства със забележителна химическа стабилност. Покритието от силициев карбид осигурява отлична устойчивост на високи температури и корозивни условия, което е от решаващо значение за поддържане на целостта на Susceptor Disc в предизвикателни среди.

В допълнение, SiC покритието на Susceptor Disc подобрява неговата топлопроводимост, което позволява бързо и равномерно разпределение на топлината, което е критично за последователен епитаксиален растеж. Той ефективно абсорбира и излъчва топлина, осигурявайки стабилна, равномерна температура, която е от съществено значение за отлагането на тънки филми. Тази еднаквост е жизненоважна за постигане на висококачествени епитаксиални слоеве, които са фундаментални за функционалността и производителността на модерните полупроводникови устройства.

Дизайнът на Susceptor Disc се справя и с предизвикателството на топлинното разширение. Неговият минимален коефициент на топлинно разширение осигурява силна връзка с епитаксиалните слоеве, намалявайки риска от напукване поради термични цикли. Тази характеристика, съчетана с високата точка на топене на Susceptor Disc и отличната устойчивост на окисление, позволява надеждна работа при екстремни условия.

С тези усъвършенствани свойства Susceptor Disc не само отговаря, но и надхвърля строгите изисквания на съвременните MOCVD приложения, осигурявайки надеждно решение с висока производителност, което подобрява цялостната ефективност и резултат от процеса на епитаксиален растеж.