SiC нагревателна жичка

Semicorex SiC Heating Filament, нагревателен елемент с висок вакуум, разработен за обработка на пластини в ново производство на полупроводници, е иновативен нагревателен елемент, проектиран сграфитно ядрои висока чистотапокритие от силициев карбид. Специалната нишка използва топлопроводимостта на графита и издръжливостта и защитата на SiC, което води до стабилен и енергийно ефективен нагревател във времето. Нагревателната нишка SiC е проектирана да нагрява равномерно пластините и да достига спецификация, което я прави отличен компонент за високотемпературна обработка на полупроводници, като епитаксия, дифузия и отгряване.

Нагревателната нишка SiC е направена от графит с висока чистота поради топлинните свойства на графита и качествените електрически свойства. Графитът осигурява основната нагревателна функция, позволяваща бърза реакция и ефективно отопление при електрически товар. Плътното SiC покритие с висока чистота предпазва нишката от възможни източници на замърсяване. SiC покритието предпазва пластината от химическо замърсяване и окисляване, както и частици в камерата, удължава полезния живот на нишката и създава чиста среда в камерата.

Ключово качество на SiC нагревателната жичка е способността за осигуряване на равномерно нагряване на пластината. Температурните промени в пластината могат да доведат до дефекти или загуба на добив. SiC нагревателната жичка има отлична топлопроводимост, а здравият дизайн на нишката гарантира, че топлината ще бъде стабилна и по-равномерна, ограничавайки топлинните градиенти за абсолютен контрол на процеса.

SiC нагревателната жичка може да се персонализира, стойността на електрическото съпротивление на всяка нишка може да бъде персонализирана за нейния технологичен инструмент и работна среда. Това персонализиране позволява на технологията на силициевия карбид да контролира стойността на съпротивлението на геометрията на нишката, дебелината на покритието и свойствата на материала. SiC нагревателната жичка може да пасне на много различни дизайни на пещи с много различни размери на вафли и рецепти за обработка. Това е особено благоприятно за производителите на полупроводници, тъй като позволява текущите процеси да работят по-ефективно и поддържа съвместимост с вече съществуващи системи.  Третата характеристика на производителността е издръжливостта. При високотемпературни полупроводникови процеси, нагревателният елемент е изложен на много агресивни химически среди и повтарящи се термични цикли.

Приложенията на нагревателната жичка Semicorex SiC обхващат широк набор от процеси за производство на полупроводникови устройства. По време на епитаксиален растеж, например, нагревателният елемент осигурява стабилна и равномерна температура на субстрата за отлагане на висококачествени кристални филми.