SiC епитаксиален рецептор

Изработен с прецизност и проектиран за надеждност, SiC Epitaxy Susceptor се отличава с висока устойчивост на корозия, висока топлопроводимост, устойчивост на термичен шок и висока химическа стабилност, което му позволява да функционира ефективно в епитаксиална атмосфера. Ето защо SiC Epitaxy Susceptor се счита за ядро и ключов компонент в оборудването MOCVD. Semicorex се ангажира да предоставя качествени продукти на конкурентни цени, очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор в Китай.

Изпратете запитване

Описание на продукта

SiC Epitaxy Susceptor е критичен компонент, използван в оборудването MOCVD за поддържане и нагряване на монокристални субстрати. Неговите превъзходни параметри на работа, като термична стабилност и термична еднородност, играят решаваща роля за качеството на растежа на епитаксиалния материал, осигурявайки високи нива на еднородност и чистота в тънкослойните материали.

SiC Epitaxy Susceptor притежава отлична плътност, осигуряваща ефективна защита при висока температура и корозивна работна среда. Освен това високото му ниво на плоскост на повърхността отговаря идеално на изискванията за растеж на единични кристали върху повърхността на субстрата.

Минималните разлики в коефициента на топлинно разширение в SiC Epitaxy Susceptor значително повишава силата на свързване между епитаксиалния субстрат и покриващия материал, като по този начин намалява вероятността от напукване след претърпяване на високотемпературен топлинен цикъл.

В същото време той показва висока топлопроводимост, улеснявайки бързото и равномерно разпределение на топлината за растежа на чипа. Освен това неговата висока точка на топене, устойчивост на температура, устойчивост на окисляване и устойчивост на корозия позволяват стабилна работа при висока температура и корозивна работна среда.

Като решаващ компонент в реакционната камера на оборудването MOCVD, SiC епитаксият Susceptor трябва да притежава предимства като устойчивост на висока температура, равномерна топлопроводимост, добра химическа стабилност и силна устойчивост на термичен шок. Semicorex SiC Epitaxy Susceptor отговаря на всички тези изисквания.