SIC Епитаксиален модул

Epitaxial модул Semicorex SIC, изработен от първокласен клас, графит с покритие от SIC, е част от епитаксиално оборудване, което е разработено, за да издържи най -трудните елементи на епитаксичните процеси на силициев карбид (SIC). Този модул, предназначен за висока температура в приложенията за отлагане на химически пари (CVD), е важен компонент за демонстриране на стабилност и поддръжка на вафли по време на епитаксиалния растеж на висококачествения SIC. Модулът Semicorex SIC е ефективен основен материал за надеждно и повтарящо се производство на епитаксиален материал, съответстващ на качествени спецификации на SIC.

Модулът Semicorex SIC е графитен субстрат, покрит с плътен и равномерен слой от силициев карбид и е устойчив на замърсяване на частиците и корозия дори в най -тежките процесорни химикали. SIC покритието забранява замърсяването и ерозията на основния графит и осигурява значителна механична поддръжка и защита до 1600 ° C. SIC модулът комбинира здравината и обработваемостта на графита с цялостното износване, корозия и химически устойчиви свойства на силициев карбид, което го прави най -подходящ за модул по отношение на издръжливостта в сурова епитаксиална атмосфера.

Модулът е проектиран да осигурява равномерен топлинен профил, като в същото време минимизира изменението на размерите през целия процес на термично колоездене. Тази топлинна равномерност и стабилност са от съществено значение за поддържането на плоскост на вафли и едноличност на епитаксията. Ако вафлата поддържа стабилна позиция с висока топлинна проводимост, топлинните условия през вафлата по време на обработката ще бъдат еднакви, което влияе положително на добива, качеството на кристалите и престоя, свързан с повреда на частта или замърсяване.

Епитаксиалният модул SIC е съвместим с няколко епитаксиални реактора, включително гореща стена и студена стена и има възможност да бъде персонализиран за оформяне и размери, за да се настанят специфични оформления на реактора и нужди на клиентите. SIC епитаксиалният модул е добре подходящ за, но не само, 4-инчови, 6-инчови и нововъзникващи 8-инчови приложения на SIC Epitaxy. Поради високата чистота и оптимизираната геометрия на SIC епитаксиалния модул, физическата намеса е сведена до минимум в влиянието му върху динамиката на потока на газа и термичните градиенти, които поддържат по -контролиран растеж на епитаксиалния слой.

SIC EPITAXIAL модулите на Semicorex представляват най -висококачественото контролирано парче в ексцентричния монтаж. В допълнение към висококачествените протоколи за контрол, Semicorex използва най-новите методи на покритие, за да прилагат еднакви, плътни и ниско изгарящи SIC филми. Semicorex има дълга анамнеза за високоефективни керамични покрития и графитна обработка, идентифицираща ползи от процесите, които осигуряват най -добрия възможен живот на продукта, консистенция и стабилност на процесите от партида до партида.

В бързо развиващото се поле на SIC захранващи устройства, където качеството на материала пряко влияе върху производителността на устройството, епитаксиалният модул не е просто консуматив-това е критичен фактор. Графитният модул с графитен графит от Semicorex предлага стабилно, надеждно решение за клиентите, които искат да прокарат границите на ефективността, добива и ефективността на разходите в SIC Epitaxy.