SiC дисков приемник

С дълбок ангажимент към качеството и иновациите, ултра-чистият SiC Disc Susceptor на Semicorex поставя нов стандарт за производителност в епитаксия, MOCVD и RTP оборудване. Чрез комбиниране на изключителна устойчивост на термичен удар, превъзходна топлопроводимост, изключителна химическа устойчивост и свръхвисока чистота, тези инженерни компоненти дават възможност на производителите на полупроводници да постигнат несравнима ефективност, надеждност и качество на продукта. Приспособимите решения на Semicorex допълнително гарантират, че всяко приложение за термична обработка се възползва от оптимизирани, прецизно проектирани компоненти, проектирани да отговорят на неговите уникални изисквания.

Изключителна устойчивост на термичен удар:SiC Disc Susceptor се отличава с издържането на бързи температурни колебания, които са често срещани при RTP и други високотемпературни процеси. Тази изключителна устойчивост на термичен шок гарантира структурна цялост и дълъг живот, минимизирайки риска от повреда или повреда поради внезапни температурни промени и повишавайки надеждността на оборудването за термична обработка.

Превъзходна топлопроводимост:Ефективното пренасяне на топлина е от решаващо значение при приложенията за термична обработка. Отличната топлопроводимост на SiC Disc Susceptor осигурява бързо и равномерно нагряване и охлаждане, което е от съществено значение за прецизен контрол на температурата и равномерност на процеса. Това води до подобрена ефективност на процеса, намалено време на цикъла и по-високо качество на полупроводникови пластини.

Изключителна химическа устойчивост:SiC Disc Susceptor осигурява изключителна устойчивост на широка гама от корозивни и реактивни химикали, използвани в процесите на епитаксия, MOCVD и RTP. Тази химическа инертност предпазва основния графит от разграждане, предотвратява замърсяване на околната среда на процеса и осигурява постоянна производителност за продължителни експлоатационни периоди.

Свръхвисока чистота: SiC Disc Susceptor е произведен в съответствие със стандарти за свръхвисока чистота както за графит, така и за SiC покритие, като се избягва потенциалът от замърсяване и се гарантира производството на бездефектни полупроводникови устройства. Този ангажимент за чистота означава по-високи добиви и подобрена производителност на устройството.

Наличност на сложни форми:Усъвършенстваните производствени възможности на Semicorex позволяват производството на SiC Disc Susceptor в сложни форми, съобразени със специфичните изисквания на клиента. Тази гъвкавост позволява проектиране на решения по поръчка, които отговарят на точните нужди на различни приложения за термична обработка, повишавайки ефективността на процеса и съвместимостта на оборудването.

Използва се в окислителни атмосфери:Здравото CVD SiC покритие осигурява отлична защита срещу окисляване, което позволява на SiC Disc Susceptor да работи надеждно в окислителни среди. Това разширява тяхната приложимост към по-широк спектър от термични процеси, осигурявайки гъвкавост и адаптивност.

Стабилно, повтарящо се представяне:Проектиран за среда с висока температура и вакуум, SiC Disc Susceptor предлага стабилна и повторяема производителност. Неговата издръжливост и последователност ги прави идеални за критични приложения за термична обработка, намалявайки времето за престой, разходите за поддръжка и осигурявайки дългосрочна надеждност на работа.

Semicorex е специализирана в персонализирането на CVD SiC-покрити компоненти, за да отговори на разнообразните нужди на оборудването за термична обработка, включително:

Дифузори:Подобрете равномерността на разпределението на газа и последователността на процеса.

Изолатори:Осигурете термична изолация и защита в среда с висока температура.

Други персонализирани термични компоненти:Специализирани решения, проектирани да отговарят на специфични изисквания на процеса и да оптимизират работата на оборудването.