Полупроводниковият графитен нагревател Semicorex е високоефективен нагревател, изработен от висококачествен изостатичен графит. Той се използва широко в основните технологични връзки на производството на полупроводници, като термичното поле на пещи за растеж на кристали, процеси на епитаксиален растеж, оборудване за имплантиране на йони, оборудване за плазмено ецване и производство на форми за синтероване на полупроводникови устройства.
полупроводникграфитен нагревателе усъвършенствано нагревателно устройство, изработено от изостатичен графитен материал с висока чистота. Неговата отлична електропроводимост и топлопроводимост осигурява прецизен контрол на температурата и равномерно разпределение на топлината за отглеждане и обработка на полупроводникови материали. Когато електрическият ток преминава през нагревателя, той преодолява вътрешното електрическо съпротивление на графита, преобразувайки електрическата енергия в топлина, повишавайки температурата на графита и постигайки нагряване. Прецизен контрол на температурата обикновено може да се постигне чрез регулиране на интензитета на електрическия ток и съпротивлението на нагревателя.
Внимателно подбраните продукти с висока чистота на Semicorexизостатичен графитпоказва отлична топлопроводимост, което му позволява бързо и равномерно да пренася топлината до всеки ъгъл на отоплителната зона, като ефективно предотвратява локализирано прегряване.
Трябва да се отбележи, че дори когато е изложен на изключително високи температурни условия, като дъгова аблация с ултрависока температура, изостатичният графит с висока чистота поддържа стабилни физични и химични характеристики. Интензивната топлина обикновено би причинила материалите да се стопят, деформират или окислят, но този тип графит е в състояние да устои на тези промени. Това го прави много подходящ за високотемпературни процеси в производството на полупроводници, включително издърпване на монокристален силиций и растеж на кристали от силициев карбид.
Полупроводниковият графитен нагревател се характеризира с енергийна ефективност. Не изисква предварително загряване, бързо достига зададената температура и постига значителни икономии на енергия в сравнение с традиционните нагреватели. Неговата висока ефективност на термично преобразуване ефективно намалява потреблението на енергия, реализирайки икономия на енергия и намаляване на потреблението. По време на работа не произвежда замърсители или изгорели газове, отговаряйки на екологичните изисквания.
В допълнение, полупроводниковият графитен нагревател може да се похвали с дълъг експлоатационен живот. Изостатичният графит с висока чистота им придава превъзходна механична якост, силна устойчивост на корозия и отлична устойчивост на термичен удар. Те са по-малко податливи на фактори като високи температури и химическа корозия, което позволява удължен експлоатационен живот.