Кварцови дифузионни тръби от полупроводников клас

Кварцови лодкиобикновено се използват при експлоатационни условия при висока температура и тежка химическа корозия. По време на операцията полупроводникови пластини се поставят в кварцовата лодка и се вкарват в кварцовата дифузионна тръба. Когато дифузионната тръба достигне необходимата температура (няколкостотин до няколко хиляди градуса по Целзий), технологичните газове (напр. O₂, N₂, H₂, Ar) и добавъчните газове (напр. POCl₃, BBr3) се въвеждат в кварцовата дифузионна тръба през газови портове, за да извършат окисляването, дифузията и отгряването на полупроводникови пластини. Освен това, за да се подобри равномерността и точността на дифузията, някои процеси на дифузия трябва да се извършват в среда с ниско налягане. 

В усъвършенстваните процеси на производство на полупроводници всяка малка грешка или недостатък в тези процеси може да доведе до провал на последващи процеси. Следователно, като решаващи части от производството на полупроводници, качеството на кварцовите дифузионни тръби е значително важно и пряко влияе върху добива и производителността на полупроводниковите устройства.

Спецификациите на Semicorex Кварц от полупроводников клас

Кварцовите дифузионни тръби от полупроводников клас Semicorex са щателно произведени от висококачественикварц от полупроводников класматериал. Следват неговите специфични параметри:

Параметрите могат да бъдат персонализирани според изискванията на клиента.

Ефективността на полупроводникови кварцови дифузионни тръби Semicorex

Разчитайки на нашата опитна технология за обработка и надежден избор на материали, Semicorex полупроводников класкварцови дифузионни тръбидемонстрира превъзходна производителност при предизвикателни работни условия:

1. Устойчивост на висока температура

Кварцовите дифузионни тръби от полупроводников клас Semicorex осигуряват забележителна устойчивост на висока температура, което им позволява да работят стабилно в среда с висока температура до 1200 ℃ без деформация или повреда.

2. Характеристики на термична стабилност

С изключителен коефициент на термично разширение, кварцовите дифузионни тръби от полупроводников клас Semicorex са в състояние да издържат на топлинен стрес по време на бързо нагряване или охлаждане, без лесно да се напукат или деформират.

3. Химическа устойчивост

Кварцовите дифузионни тръби от полупроводников клас Semicorex осигуряват превъзходна химическа инертност при висока температура, тежки корозивни среди. Тази производителност значително предотвратява влиянието на замърсителите, генерирани от реакцията им с процесните газове, върху качеството на пластините.