Сателитна плоча

Сателитната плоча Semicorex е жизненоважен носител на вафли по време на процеса на епитаксиален растеж, гарантирайки равномерно отлагане и оптимална ефективност на процеса. Конструиран от графит с висока чистота и покрит със здрав силиконов карбид (SIC), тази плоча осигурява изключителна топлинна стабилност, химическа устойчивост и механична якост, втвърдявайки позицията му като незаменим компонент при производството на полупроводници с високопроизводител.

С графитна основа с висока чист, сателитната плоча се отличава с термична проводимост и структурна цялост. TheSic покритиеЗначително засилва неговата издръжливост, осигурявайки високотемпературна устойчивост, химическа инертност и драстично намаляване на генерирането на частици. Тази мощна комбинация гарантира, че плочата издържа на тежки условия за обработка, като същевременно последователно се изпълнява на високо ниво. Графитната основа улеснява ефективния топлопренос, осигурявайки равномерно разпределение на температурата през вафлата, докато SIC покритието предпазва от корозивни процесорни газове, предотвратявайки замърсяването и удължаване на експлоатационния живот. Освен това, SIC повърхността свежда до минимум отделянето на частиците, което е от решаващо значение за постигане на производство на полупроводници с висока доходност.

Проектиран специално за безпроблемна интеграция с Aixtron G5+ системи, сателитната плоча гарантира прецизно позициониране на вафли и ротационен баланс, от съществено значение за поддържане на стабилни термични условия и намаляване на скоростта на дефект. Съставът на усъвършенствания материал на плочата не само удължава живота си на експлоатация, но и значително намалява оперативните разходи и повишава производителността на производството.

Използван предимно в процеса на метално органично химическо отлагане на пари (MOCVD), сателитната плоча е от решаващо значение за отглеждането на епитаксиални слоеве на полупроводникови вафли. Той играе ключова роля в производството на усъвършенствани полупроводникови устройства, включително светодиоди, електроника, базирана на GAN, Power Electronics, фотонни и оптоелектронни компоненти и високочестотни RF устройства. Чрез осигуряване на стабилни термични условия и минимизиране на замърсяването, сателитната плоча гарантира постоянен растеж на епитаксиалния слой, което води до подобрено обработка на вафли и по -високи скорости на добив. Оптимизираният му дизайн осигурява ефективно поддръжка на вафли, намалявайки дефектите и гарантиране на прецизността през етапите на обработка на полупроводници.

Semicorex сателитна плоча служи като съществен компонент за Aixtron G5+ епитаксия реактори, осигурявайки несравнима издръжливост, химическа устойчивост и топлинна характеристика. Съставът и инженерингът на авангардни материали го правят от решаващо значение за процеса на производство на полупроводници, като гарантира производството на високодоходни и висококачествени вафли. Инвестирайте в сателитната плоча, за да повдигнете производството на полупроводникови производители и да постигнете високи постижения в епитаксиалните процеси на растеж.