Semicorex твърдата изолация е високоефективна къса влакна, силно разработена, специално разработена за термично управление в епитаксийското оборудване. Изборът на Semicorex означава избор на доказан опит, първокласни материали и персонализирани решения, които гарантират най -високата чистота, надеждност и ефективност за вашите полупроводникови производствени процеси.*
Твърдата изолация на Semicorex е специално разработена за SIC епитаксиален процес, с уникална структура на сглобяване, високо съпротивление, предотвратяване на искра и добра ефективност на топлинната изолация. Твърдата изолация е високоефективна термична бариера, направена от премиум къси керамични влакна. Проектиран в твърда структура, този твърд изолационен материал съчетава отлична механична якост с превъзходни свойства на термична изолация, което го прави идеален за взискателните условия във вътрешността на полупроводниковите производствени среди.
Полупроводниковият силициев и силициев карбид обикновено трябва да се приготвя във високотемпературна среда, като се използват специфични инструменти като еднокристални пещи за дърпане на силиций и пещи за еднокристален растеж на силициев карбид и има по-строги изисквания за приготвянето на средата. Например, поддържането на температурата на подготовка и намаляването на външната намеса на примесите. Поради тази причина се появи термична изолация, изтъкана от въглеродни влакна с висока чистота и със своите предимства на лесното формоване, не лесно да се разрушава, силни характеристики на топлинната изолация и съдържание на ниско примеси, тя се превърна в истинско „топло облекло“ преди раждането на полупроводници.
Използвайки филц за въглеродни влакна на базата на PAN и въглеродни влакна на основата на вискоза като суровини, твърда изолация се приготвя чрез процеси като накисване, свързване, втвърдяване, топлинна обработка и обработка. Той се използва широко във високотемпературно оборудване като прахообразна металургия на индустриалните пещи, вакуумните пещи за синтероване, фотоволтаичните единични кристални пещи, поликристални пещи и полупроводникови кристални пещи. Той има добра устойчивост на натиск и отлична ефективност на топлинната изолация. В сравнение с мекото усещане, твърдата изолация има предимствата на лесната инсталация, стабилния размер, ниско затихване на термична изолация и дълъг експлоатационен живот.