Описание на продукта

Semicorex кварцова пещна тръба, вафлени лодки, кварцови тигли за силициев монокристален растеж, всички са направени от висока чистотакварцов материалл. Кварцът се използва широко в полупроводниковата индустрия, кварцът с висока чистота е важен консуматив при производството на пластини. Основният целеви пазар на кварцови части в областта на полупроводниците е процесът на дифузия и ецване при производството на пластини, който може да бъде разделен на две основни категории: високотемпературни части и нискотемпературни части.

1. Високотемпературните части са кварцова пещна тръба, вафлена лодка, държач за лодка и т.н. Те трябва да контактуват пряко или косвено със силиконова вафла във високотемпературна среда, направени са главно от разтопен кварцов стъклен материал, произведен чрез термична обработка.

Компонентите във високотемпературната зона се изразходват по-бързо, но те обикновено се използват в системи с много пластини (един носител държи множество силициеви пластини), докато компонентите в нискотемпературната зона се изразходват по-бавно, но се използват в системи с една пластина (един носител държи една силициева пластина); следователно общият пазарен размер и за двете е относително подобен.

Пещта е зоната, в която пластините се подлагат на високотемпературен процес на нагряване, състои се от кварцова пещна тръба, реактор и няколко нагревателя, широко се прилага при дифузия, окисление, RTP процеси в обработката на полупроводници. Пещта е разделена главно на хоризонтални и вертикални видове:. В хоризонтална пещ пластините се поставят върху кварцова лодка, която от своя страна е поставена върху SiC носител. Има и адаптивни прегради отпред и отзад. Носителят се вкарва в тръбата на кварцовата пещ и пластините претърпяват реакцията в зона с постоянна температура. Във вертикална пещ пластините се поставят върху кварцова кула и след това бавно се издигат в тръбата на кварцовата пещ за обработка.

Поради високите температури, участващи в горните процеси, за да се предотврати сериозна деформация и срутване на тръбата на кварцовата пещ след многократна и продължителна употреба, по време на производството трябва да се използва кварцова тръба на пещта, която е устойчива на деформация и срутване и има дълъг експлоатационен живот.

Ето предимствата накварцтръба на пещта:

1. Устойчивост на висока температура. Кварцовото стъкло има точка на омекване приблизително 1730 ℃ и може да се използва за продължителни периоди при 1150 ℃, като краткотрайната максимална температура достига 1450 ℃.

2. Устойчивост на корозия. С изключение на флуороводородна киселина, кварцът с висока чистота почти не реагира химически с други киселинни вещества. При високи температури той може да издържи на корозия от сярна киселина, азотна киселина, солна киселина, царска вода, неутрални соли, въглерод и сяра. Неговата киселинна устойчивост е 30 пъти по-голяма от тази на керамиката и 150 пъти по-голяма от тази на неръждаемата стомана. Неговата химическа стабилност, особено при високи температури, е несравнима с никой друг инженерен материал.

3. Добра термична стабилност. Кварцът с висока чистота има изключително нисък коефициент на топлинно разширение и може да издържи на драстични температурни промени. Загряването на кварц с висока чистота до около 1100 ℃ и след това потапянето му във вода със стайна температура няма да доведе до счупването му.

4. Добро предаване на светлина. Кварцът с висока чистота има добро предаване на светлина в целия спектър от ултравиолетов до инфрачервен. Пропускливостта на видимата светлина е над 93%, а в ултравиолетовия спектър максималната пропускливост може да достигне над 80%.

5. Добра електрическа изолация. Съпротивлението на кварца с висока чистота е десет хиляди пъти по-голямо от обикновеното кварцово стъкло, което го прави отличен електроизолационен материал, притежаващ добри електрически свойства дори при високи температури.