Semicorex RTP SiC Coating Carrier предлага превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини. Със своя висококачествен графит с покритие от SiC, този продукт е проектиран да издържа на най-тежките условия на отлагане за епитаксиален растеж. Високата топлопроводимост и отличните свойства на разпределение на топлината осигуряват надеждна работа при RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Прочетете ощеИзпратете запитване