Semicorex SiC Graphite RTP носеща плоча за MOCVD предлага превъзходна устойчивост на топлина и топлинна равномерност, което я прави идеалното решение за приложения за обработка на полупроводникови пластини. С висококачествен графит с покритие от SiC, този продукт е проектиран да издържа на най-тежките условия на отлагане за епитаксиален растеж. Високата топлопроводимост и отличните свойства за разпределение на топлината осигуряват надеждна работа при RTA, RTP или грубо химическо почистване.
Прочетете ощеИзпратете запитване