Устойчивите фокусни пръстени Semicorex за обработка на полупроводници са проектирани да издържат на екстремни среди на камери за плазмено ецване, използвани при обработка на полупроводници. Нашите фокусни пръстени са изработени от графит с висока чистота, покрит с плътно, устойчиво на износване покритие от силициев карбид (SiC). SiC покритието има високи корозионни и топлоустойчиви свойства, както и отлична топлопроводимост. Ние нанасяме SiC на тънки слоеве върху графита, като използваме процеса на химическо отлагане на пари (CVD), за да подобрим експлоатационния живот на нашите фокусиращи пръстени.
Прочетете ощеИзпратете запитване