Продукти

Semicorex CVD SiC-покрити вафлени лодки са високопрецизни керамични инструменти за носене, изработени от силициев карбид с ултра-висока чистота, отличаващи се с висока надеждност, отлична чистота и удължен експлоатационен живот. Служейки като идеалното решение за термична обработка на вафли, Semicorex CVD SiC-покрити вафли могат да постигнат сигурно и стабилно позициониране на вафли по време на етапите на прехвърляне и обработка.

Semicorex CVD SiC Fin е дебел компонент от твърд силициев карбид с висока плътност, произведен от Chemical Vapor Deposition, предназначен за плазмени и свръхвисокотемпературни полупроводникови приложения, изискващи изключителна чистота, издръжливост и устойчивост на корозия. Semicorex доставя усъвършенствани CVD компоненти от силициев карбид на производителите на полупроводниково оборудване по целия свят, предоставяйки персонализирани решения, прецизно инженерство и надеждна глобална доставка за най-взискателните среди на процеси.*

Изработен от високоефективни CVD SiC материали, Semicorex CVD SiC фокусен пръстен за 2L10-506419-21 е ключовата част на пръстена, проектирана специално за оборудването TEL VIGUS RK4, използвано в процесите на прецизно ецване на полупроводници. Изборът на Semicorex означава, че ще получите идеалните решения за CVD SiC за постигане на прецизни и еднакви резултати при ецване.

Semicorex CVD SiC-покрити горни земни пръстени са основните пръстеновидни компоненти, проектирани специално за усъвършенстваното оборудване за плазмено ецване. Като водещ в индустрията доставчик на полупроводникови компоненти, Semicorex се фокусира върху доставянето на висококачествени, дълготрайни и ултра-чисти горни заземени пръстени с CVD SiC покритие, за да помогне на нашите уважаеми клиенти да подобрят оперативната ефективност и цялостното качество на продукта.

Semicorex твърди CVD SiC пръстени са високоефективни пръстеновидни компоненти, използвани главно в реакционните камери на оборудване за плазмено ецване в модерната полупроводникова индустрия. Твърдите CVD SiC пръстени Semicorex се подлагат на строг избор на материали и контрол на качеството, предлагайки несравнима чистота на материала, изключителна устойчивост на плазмена корозия и постоянна оперативна производителност.

Semicorex CVD SiC-покритите тръби за пещи са тръбни компоненти от висок клас, специално произведени за високотемпературна обработка на полупроводници, като окисляване, дифузия и отгряване на полупроводникови пластини. Използвайки напреднали технологии за обработка и зрял производствен опит, Semicorex се ангажира да доставя прецизно обработени CVD SiC-покрити тръби за пещи с водещо на пазара качество за нашите уважаеми клиенти.