Планетарен чувствителен

Planetary Planetary Sudceptor е незаменим компонент за реактори на полупроводникови епитаксия, специално разработен за Aixtron G5+ оборудване. Конструиран от графит с висока чистота ипокрит със силициев карбид (SIC), Този чувствителен назащит гарантира превъзходна топлинна стабилност, изключителна химическа устойчивост и несравнима характеристика в среди с висока температура.

Реакторът на Aixtron G5+ Epitaxy стои като еталон в индустрията за GAN, SIC и други сложни процеси на растеж на полупроводниците. Планетарният оспорватор е основен при оптимизиране на потока на газа, като гарантира прецизно въртене на вафли, поддържат точен контрол на температурата и постигане на равномерно отлагане на епитаксиални слоеве. Иновативният му дизайн значително повишава повторяемостта на процеса, което го прави идеалният избор за производствени среди с голям обем.

Основни характеристики  

- Състав на усъвършенствания материал: Изработен от графит с висока чист с SIC покритие, осигурявайки повишена издръжливост и устойчивост на тежки условия на процеса.  

- Оптимизирани топлинни показатели: Осигурява равномерно разпределение на топлина, критично за растежа на епитаксиалния слой с висока точност.  

- Химическа устойчивост: SIC покритието предотвратява окисляването на графита, удължаване на живота на чувствителността и поддържане на чистотата на процеса.  

- Прецизно инженерство: Проектиран да отговаря на строгите изисквания на Aixtron G5+ системи, осигурявайки безпроблемна интеграция и оптимална ефективност на реактора.  

- Висока повърхностна равномерност: минимизира замърсяването на частиците, поддържайки превъзходното качество на вафли и по -високия добив при производството на полупроводници.  

Предимства на нашия планетарен чувствител  

- Разширен експлоатационен живот: TheSic покритиеЗначително намалява износването, което води до по -ниска честота на подмяна и намалени оперативни разходи.  

- Подобрена стабилност на процеса: осигурява постоянно отопление и минимални термични градиенти, което води до висококачествено производство на вафли.  

- Съвместимост и персонализиране: Предлага се в стандартни и персонализирани дизайни, за да отговаря на специфични изисквания за процеса на Aixtron G5+.  

ГрафитЧастите играят незаменима и много важна роля в процеса на полупроводници. Качеството на графитните материали оказва голямо влияние върху качеството на готовите продукти. Нашата консистенция на графитната партида и хомогенността на материала могат да бъдат контролирани и гарантирани чрез производствения процес.

1. Малка партидна производство, пещта за карбонизация използва само малка пещ само с 50 кубически метра

2. Всяко парче материал се следи и проследява

3. Многоточков мониторинг на температурата в пространството на пещта, за да се гарантира, че разликата в температурата се поддържа в много малък диапазон

4. Многоточков мониторинг на температурата върху материала, за да се гарантира, че температурната разлика се поддържа в много малък диапазон

Planetary Sustceptor Semicorex е първокласното решение за реакторите на Aixtron G5+, предлагайки изключителна термична стабилност, химическа устойчивост и прецизна характеристика. Проектиран за най -взискателните процеси за производство на полупроводници, той води до по -високи добиви на вафли, свежда до минимум риска за замърсяване и удължава живота на оборудването. Надстройте вашата система Epitaxy с най-високо ниво на чувствителност за несравними резултати.