Касетите на Semicorex PFA вафли са носители на висока чистота, предназначени да осигурят безопасно и без замърсяване боравене с полупроводникови вафли по време на мокра обработка, съхранение и транспорт. Изборът на Semicorex гарантира не само превъзходно качество на PFA материал, но и прецизно инженерство, което осигурява надеждност, чистота и дългосрочна производителност в напреднали среди за производство.*
Касетите за вафли Semicorex PFA са инженерни превозвачи, които са проектирани за безопасно обработване, съхраняване и прехвърляне на полупроводникови вафли в приложения за модерни производства. Тези касети са конструирани от полимер с висока чистота Perfluoroalkoxy (PFA) и представят химическата устойчивост, термичната стабилност и механичната издръжливост, необходима при мокро почистване, химическа обработка и транспортни приложения за вафли. Вафрите остават защитени от замърсяване, механични увреждания и химическа атака в критичните стъпки за транспортиране на вафли в процеса на производство на полупроводници.
Използването на PFA като основен материал за тези касети на вафли е значителна промяна от традиционните полимерни носители. PFA има превъзходна устойчивост на много агресивни киселини, основи и разтворители, често срещани в етапите на почистване на мокрите процеси (т.е. RCA почистване, SC1, SC2), обикновено свързани с производството на полупроводници. Химическата инертност на PFA гарантира, че вафлите няма да бъдат изложени на изтичане на замърсяване от самия носител, така че дефектите не възникват от липсата на целостта на процеса. Освен това, възможността за издържане на високи температури позволява на касетите да поддържат процеси, включващи горещи химически бани или горещи ултравидни водни изплаквания със стабилни и надеждни характеристики.
PFA вафли касетиса проектирани с прецизни гладки повърхности, които също са непоретни, за да се сведе до минимум придържането на частиците и да позволи почистване. Касетите с вафли постигат високи нива на чистота при днешните FABS, където дори замърсяването на субмикрон може да доведе до загуба на добив или повреда на устройството. Видът на гладките вътрешни контури намалява надраскането на деликатните повърхности на вафли и позволява подреден отводняване на течности след мокра обработка, за да се предотврати оставането на химически остатъци от химическите остатъци или да се докосне, като същевременно увеличава консистенцията на процеса и намалената нужда от почистване на усилията за втори път.
Допълнително основно предимство на касетите PFA вафли е точността на размерите и структурната стабилност. Процесът на производство на касети изисква по -строги допустими отклонения, отколкото обикновено се очаква, което позволява касетата да държи здраво вафли по такъв начин, че да няма нежелано изместване или нежелан контакт на вафлите по време на трансфера. Касетите са позиция или характерно последователни, независимо дали са за ръчно управление или по време на автоматизирани транспортни системи за вафли. Касетите PFA вафли ще отговарят точно на стандартните физически пробиви, свързани със стандартните системи за обработка на вафли и транспортиране в индустрията. Дългата и полезна надеждност на услугата, свързана с касетите PFA вафли, увеличава стойността на инвестициите, тъй като PFA може да издържи повторно след многократно химическо, термично колоездене и механични експозиции.
Касетите PFA вафли са ценни активи не само при мокра химическа обработка за защита на вафли, но и за съхранение и транспортиране. Те са изградени с инертни материали, за да поддържат чисти вафли по време на процеса на охлаждане, а тяхната издръжливост трябва да ограничи счупването и ръбовите чипове от опаковки и транспортиране. Касетите на PFA вафли са важни за полупроводниковите FABs, както и за изследователските лаборатории, фотоволтаичното производство и други индустрии, които се нуждаят от обработка на вафли с висока чистота.
PFA вафли касетиСъщо така носят благоприятна устойчивост и разходи за употреба. Строителните материали са устойчиви на химическа атака и лесни за почистване, така че да могат да се използват многократно, намаляват отпадъците и еднократните материали и насърчават многократната употреба за намаляване на дългосрочните експлоатационни разходи. Отбелязвайки общото разбиване на вафла, когато има замърсяване, намаляването на събитията за замърсяване и загубата на вафли ще увеличи добива и ще намали дефективността. Загубата на добив и увеличената дефективност на платното са основни фактори в онтологията за конкурентоспособността на производствената операция на полупроводници.