PFA вафлени превозвачи

Semicorex pfaНосители на вафлиса високоефективни носители, предназначени за безопасно управление, съхранение и транспортиране на полупроводникови вафли в ултра чиста среда. Производството на усъвършенствани полупроводници гарантира, че носителите на вафли PFA предлагат ненадмината химическа устойчивост, термична стабилност и контрол на частиците от целостта и чистотата на вафрите по време на производството до окончателното тестване.

Изработени от нови PFA, тези носители на вафли показват голяма устойчивост на тежки химикали като силни киселини, основи и разтворители, които обикновено се използват за почистване и офорт. Много ниските йонни извличания и излишни свойства на PFA го правят предпочитаният материал за важни задачи за чиста стая, където дори малки количества замърсители могат да повлияят на добивите на устройството.

Превозвачите на вафли PFA се правят в чисти стаи и работят с клас 1 (ISO клас 3) Стандарти за чисти стаи. Гладката, незалепваща повърхност на PFA минимизира генерирането на частици и адхезията, като предотвратява замърсяването от остатъци или частици. Освен това, хидрофобната природа на PFA улеснява старателното изплакване и бързото изсушаване, като допълнително намалява риска от кръстосано замърсяване по време на стъпките на мокра обработка.

Всеки носител на вафли PFA е направен точно, за да се гарантира безопасна и дори подкрепа на вафли по време на преместване и съхраняване. Гробените слотове помагат на вафли с малък контакт, намалявайки стреса и чипиране по краищата на вафлите. Носителите се предлагат в много форми, за да отговарят на различни размери вафли, които включват диаметър 100 mm, 150 mm, 200 mm и 300 mm. Незадължителните върхове и тесните заключващи начини дават допълнителна безопасност срещу шок за стоките, вибрациите и излагането на околната среда.

Поради отличната топлинна устойчивост на PFA до 260 ° C, тя е съвместима с високотемпературни процеси като дифузия, окисляване и CVD от химическо отлагане на пари. Носителят запазва структурната си цялост при многократно термично колоездене и следователно е подходящ както за партида, така и за автоматизирана среда за обработка.

Носителите на вафли PFA имат широки приложения при почистване на вафли, мокро ецване, фотолитография CMP и други процеси на предния и задния край в производството на IC. Техният здрав дизайн и чистота ги правят идеални за използване в FABS, R&D лаборатории и OEM оборудване, изискващи строги протоколи за контрол на замърсяване.

ПерсонализиранPFA вафлени превозвачиМоже да се разработи така, че да отговаря на специфични изисквания за автоматизация, включително роботизирана работа, проследяващи системи и вертикален/хоризонтален транспорт. Превозвачите са напълно съвместими със стандартното оборудване за обработка на вафли и инструменти за производство на полупроводници.