PECVD Соларна графитна лодка

SemicorexPECVD соларни графитни лодкиса прецизно изработени от висока чистотаизостатичен графит. Всяка PECVD соларна графитена лодка от Semicorex преминава през прецизна машинна обработка, проверка на размерите и тестване на електрическите характеристики, за да се гарантира стабилна работа в среда с високотемпературна плазма.

По време на PECVD обработката PECVD слънчевата графитна лодка носи силициеви пластини в PECVD реакционната камера и служи като електрод, свързан към радиочестотното захранване. Когато се приложи променливо напрежение между съседни плочи на лодка, се създава електрическо поле. Под въздействието на електрическото поле реактивните газове (като силан SiH₄ и амоняк NH3) претърпяват светещ разряд и генерират плазма. Йоните и свободните радикали в плазмата разграждат прекурсорните газове, образувайки силициеви (Si) и азотни (N) йони. Тези йони се комбинират, за да образуват молекули силициев нитрид (Si₃N₄), които след това се отлагат върху повърхността на силиконовата пластина, за да образуват тънки филми.

1. Изключителна термична стабилност

С коефициент на топлинно разширение, близък до този на силиконовите пластини, SemicorxPECVD соларна графитна лодкапретърпява незначителна промяна на размерите при нагряване, което надеждно избягва увреждането на пластините, предизвикано от топлинен стрес.

2. Превъзходна електрическа и топлопроводимост

Соларните графитни лодки Semicorex PECVD имат отлична електрическа проводимост, осигуряваща бързо провеждане на RF ток и равномерно разпределение на електрическото поле, което е от полза за стабилно генериране на плазма и равномерно отлагане на силициеви пластини. В допълнение, неговата превъзходна топлопроводимост улеснява бързото охлаждане и нагряване, подобрявайки ефективността на производството, като същевременно предотвратява локализираното прегряване да повлияе на качеството на отлагането.

3. Силна химическа стабилност

Благодарение на използването на висококачествен материал, соларната графитна лодка Semicorex PECVD е по-малко податлива на реакция с реактивните газове и плазма. Тази характеристика значително предотвратява неравномерното разпределение на електрическото поле, причинено от корозия, деформация или отлагане на примеси в графитната лодка, като по този начин гарантира стабилността на процеса на отлагане и качеството на повърхността на силициевите пластини.

4. Изключителна механична якост

Със своята изключителна механична якост, соларната графитна лодка Semicorex PECVD може лесно да се справи с теглото на големи обемни натоварвания с вафли. Те могат да издържат на механичното напрежение, генерирано по време на товарене и транспортиране за дълго време, без лесно да се деформират или счупят.

5. Отлична консистенция на размерите

Соларната графитена лодка Semicorex PECVD постига изключителна точност на размерите на всички компоненти чрез прецизна обработка. Той поддържа силиконовата пластина във фиксирана позиция по време на отлагането, което гарантира равномерно отлагане и съвместимост с автоматизираното производство.