PBN нагревател

Pycorex пиролитичен бойрен PBN нагревател е високо чистота, високоефективен отоплителен компонент, предназначен за взискателни приложения, където ултра чисти, химически стабилни и термично ефективни материали са от съществено значение. Произведен чрез процес на отлагане на химически пари (CVD), PBN проявява изключителна топлинна проводимост, високотемпературна устойчивост и изключителна химическа инертност, което го прави идеалният избор за обработка на полупроводници, растеж на кристалите и вакуумни приложения.

PBN нагревателят е нагревател, който използва силно изолационен PBN като субстрат и използва ниско налягане термично разграждане на химическо отлагане на пари (CVD) за покриване на проводим PG при ниско налягане (под 10Torr) и висока температура. Основните компоненти на този композитен нагревател са пиролитичен бор нитрид (PBN) и пиролитичен графит (PG). Поради отличната си устойчивост на корозия и висока температурна устойчивост, тя се използва главно за отопление на полупроводници на субстрата (използвано в MBE, MOCVD, разпръскващо покритие и др.); Суперпроводниково отопление на субстрата; нагряване на пробата по време на анализ на пробата; отопление на електронния микроскоп; метално отопление; Източник на отопление на метално изпаряване и др.

PBN е инертен за корозивни газове; има висока чистота (по -голяма от 99,99%); не мокри и не реагира с повечето разтопени метали (има характеристиките на тигана с незалепващо покритие, а металът може да се използва 100%); има добро високо температурно съпротивление (максималната работна температура е 2000 ℃); добра плътност; Добрата устойчивост на термичен удар и други отлични свойства го правят идеален материал за приготвяне на композитни нагреватели PBN-PG. PG може да се нагрява бързо до 1600 ℃ (в инертна атмосфера и под вакуум) в PBN нагревател. В същото време, комбинирана с добрата топлинна проводимост на PBN, нагревателната повърхност има добра топлинна равномерност. С бързото развитие на свързани индустрии, търсенето на композитни нагреватели PBN-PG също бързо се увеличи.

PBN нагревателите могат да бъдат изработени в различни форми и конфигурации, за да отговарят на специфични изисквания за дизайн и интеграция. Типичните дизайни включват равнинни нагреватели, тръбни нагреватели и персонализирани геометрии с вградени или монтирани на повърхността нагревателни елементи. Нагревателните елементи обикновено са изработени от пиролитичен графит (PG) и се капсулират в PBN, осигурявайки напълно запечатана, електрически изолационна и термично ефективна структура.