PBN електростатичен патронник

Материални свойства наPBNЕлектростатичен патронник

Устойчивост на висока температура и диелектрична якост

ThePBNЕлектростатичният патронник е известен със своята изключителна устойчивост на висока температура, характеристика, която е ключова в процеса на производство на полупроводници. Пиролитичният борен нитрид (PBN), материалът, използван в конструкцията на патронника, показва съпротивление, по-високо от най-често използваната керамика, което е от решаващо значение за поддържане на силата на патронника на Johnsen-Rahbek (J-R) до температури от 1050°C. Това високо съпротивление, съчетано с неговата висока диелектрична якост, гарантира, че електрическият срив е ефективно предотвратен дори при интензивна топлина, като по този начин се повишава надеждността на работа на патронника.

Термична равномерност и устойчивост на удар

Шестоъгълната решетъчна структура на PBN, получена чрез химическо отлагане на пари при температури над 1500°C, допринася за неговата изключителна топлинна еднородност и устойчивост на удар. Нагревателните елементи с висока плътност в рамките наPBNЕлектростатичният патронник му позволява да постигне постоянен топлинен профил на пластини с добра равномерност от 1,1–1,5% при температури от 600–800°C. Освен това базираният на PBN патронник демонстрира забележителна устойчивост на термичен удар и по-ниска термична маса, което му позволява да достигне 600°C при бърза скорост на нарастване от 23°C/сек без риск от напукване или разслояване.

Персонализирано многозоново отопление

Електростатичният патронник PBN е много адаптивен, включващ възможности за многозоново нагряване, които позволяват максимален контрол на температурата. Това ниво на персонализиране гарантира, че всеки патронник може да бъде пригоден да отговаря на специфичните изисквания на отделните клиенти, осигурявайки гъвкаво решение за различни приложения за обработка на полупроводници.

Приложения наPBNЕлектростатичен патронник

Йонна имплантация и работа с пластини

Електростатичният патронник PBN е предпочитаният апарат за манипулиране на пластини в процесите на йонна имплантация. Способността му да държи пластини при температури над 1000°C го прави един от най-универсалните електростатични патронници на пазара. Тази гъвкавост е допълнително подобрена от капацитета му да поддържа вафли в много тесни температурни диапазони, благодарение на многозоналните нагревателни елементи с висока плътност.

Имплантиране на йони от силициев карбид

В специфичното приложение на имплантирането на SiC йони,PBNЕлектростатичният патронник предлага жизнеспособно решение на предизвикателствата при нагряване и манипулиране на пластини. Неговите възможности за двойна функция, които включват висока сила на затягане, висока мощност на нагряване, добра топлинна еднородност и бърза реакция, го правят идеален избор за справяне със сложните изисквания на имплантирането на SiC йони.

Производство на полупроводници

Електростатичният патронник PBN играе критична роля в производството на полупроводници, където прецизното боравене с пластини и контрол на температурата са от съществено значение. Неговата висока устойчивост на термичен шок и възможностите за бързо повишаване на температурата го правят подходящ за усъвършенствани полупроводникови процеси, които изискват стриктно управление на температурата и бърз топлинен цикъл.